Susceptador de bolacha revestida com TAC

O Susceptador de wafer com revestimento de semicondutor de vetek é um componente essencial usado emDeposição de vapor químico orgânico-metal (MOCVD)reatores paraProcessos de epitaxial semicondutores (EPI). Esta base redonda especializada é feita de grafite de alta qualidade e é revestida com uma camada de carboneto de tântalo (TAC), que é bem conhecido por suas propriedades térmicas e químicas excepcionais.

A função principal do revestimento TAC é melhorar o desempenho e a durabilidade do susceptador de wafer sob as condições adversas da fabricação de semicondutores. O carboneto de Tantalum é famoso por sua dureza, alto ponto de fusão e excelente resistência ao desgaste, tornando -a a camada protetora ideal. Este revestimento protege a base de grafite subjacente das reações químicas corrosivas e tensões mecânicas que ocorrem dentroReatores MOCVD, prolongando a vida útil do equipamento e melhorando a confiabilidade.

Durante o crescimento epitaxial de materiais semicondutores, o suscetador de bolacha revestido com TAC desempenha um papel vital, garantindo a deposição precisa do filme. Sua resistência a altas temperaturas e ambientes químicos severos é fundamental para a produção precisa de dispositivos semicondutores, permitindo que o equipamento funcione de forma estável em condições de processo exigentes.

A combinação de umnúcleo de grafiteeRevestimento TACGarante a distribuição uniforme de calor em todo o suscetador, essencial para melhorar a repetibilidade e a qualidade das camadas de semicondutores cultivadas durante o processo MOCVD. Esse design avançado de material não apenas fornece durabilidade, mas também atende às demandas rigorosas da fabricação moderna de semicondutores para componentes eletrônicos de alto desempenho.

Como fornecedor e fabricante líder de suscetores de bolacha revestidos com TAC, o Vetek Semiconductor está comprometido em fornecer soluções técnicas de alta qualidade para a indústria de semicondutores. Estamos ansiosos para nos tornar seu parceiro confiável de longo prazo na China, oferecendo produtos confiáveis ​​e personalizados.

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