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EPI LED
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EPI LED

O vetek semicondutor é um fornecedor líder de revestimentos TAC e peças de grafite de revestimento SiC. Somos especializados na produção de susceptores de EPI de ponta LED, essenciais para os processos de epitaxia de LED. Ansioso por sua consulta adicional.

Como fornecedor e fabricante de susceptores de EPI liderados pelo Professional, o Vetek Semiconductor gostaria de fornecer susceptores de EPI LED de alta qualidade.


O Susceptador LED LED da VetekSemicon, um produto de ponta projetado para processos de crescimento de epitaxia de LED. Este suscetador de alta qualidade serve como transportadora de wafer para epitaxia de LED, fornecendo suporte essencial e mantendo o crescimento das bolachas epitaxiais de LED.


O Susceptador de EPI LED possui excelente condutividade térmica alta e resistência a alta temperatura. Geralmente, o suscetador precisa trabalhar em um ambiente de alta temperatura (acima de 1000 ° C), e seu material é feito de carboneto de grafite ou silício. Esses materiais têm pontos de fusão altos (como ponto de fusão de grafite de cerca de 3650 ° C) e excelente condutividade térmica (como a condutividade térmica de carboneto de silício de cerca de 120 W/m · K), o que garante uma transferência de calor eficiente.


Além disso, a superfície do Susceptador de Veteksemicon é altamente plana, o que garante um contato próximo com o substrato. Ao mesmo tempo, ografiteouMateriais de carboneto de silíciotambém têm inércia química significativa, evitando reações colaterais com gases reativos (como NH₃, TMGA, etc.) e impedindo a contaminação da camada epitaxial.


O Susceptador de EPI de LED incorpora excelente condutividade térmica, dissipando eficientemente o calor para manter uma temperatura de crescimento estável para as bolachas epitaxiais. Esse recurso crucial aumenta a estabilidade e a consistência do processo, garantindo um crescimento de LED consistente e de alta qualidade. Para melhorar ainda mais seu desempenho, o Susceptador de EPI LED é revestido com um filme fino premium de carboneto de tântalo (TAC). ORevestimento TACAumenta significativamente a durabilidade e a confiabilidade do produto, garantindo um desempenho ideal e duradouro.


O Susceptador de EPI LED da VetekSemicon possui compatibilidade perfeita com vários equipamentos e processos de epitaxia de LED, tornando -a uma solução versátil para diversos requisitos de crescimento epitaxial de wafer. Ao mesmo tempo, o VetEkSemicon está comprometido em fornecer soluções avançadas de tecnologia e produto para a tecnologia de processamento epitaxial de semicondutores. Sinceramente esperamos que você se junte a nós.


Propriedades físicas básicas do revestimento TAC:

Propriedades físicas do revestimento de carboneto de tântalo
Densidade 14.3 (g/cm³)
Emissividade específica 0.3
Coeficiente de expansão térmica 6.3*10-6/K
Dureza (hk) 2000 HK
Resistência 1 × 10-5Ohm*cm
Estabilidade térmica <2500 ℃
Mudanças de tamanho de grafite -10 ~ -20um
grossura ≥20um valor típico (35um ± 10um)


Revendedor semicondutor

VeTek Semiconductor LED EPI Susceptor Production Shop

Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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