Susceptor MOCVD com revestimento TaC

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O epitaxia de LED enfrenta desafios como controle de qualidade do cristal, seleção e correspondência de material, projeto estrutural e otimização, controle e consistência de processos e eficiência da extração de luz. A escolha do material da transportadora de epitaxia certa é crucial e o revestimento com o filme fino de tantalum (TAC) (revestimento TAC) fornece vantagens adicionais.

Ao selecionar um material de transportadora de epitaxia, vários fatores -chave precisam ser considerados:

● Tolerância à temperatura e estabilidade química: Os processos de epitaxia LED envolvem altas temperaturas e podem envolver o uso de produtos químicos. Portanto, é necessário escolher materiais com boa tolerância à temperatura e estabilidade química para garantir a estabilidade do transportador em ambientes químicos de alta temperatura e química.

● Planicidade da superfície e resistência ao desgaste: A superfície do portador de wafer epitaxia deve ter uma boa planicidade para garantir contato uniforme e crescimento estável da bolacha de epitaxia. Além disso, a resistência ao desgaste é importante para evitar danos e abrasão na superfície.

● Condutividade térmica: A escolha de um material com boa condutividade térmica ajuda a dissipar o calor de forma eficaz, mantendo uma temperatura de crescimento estável para a camada epitaxia e melhorando a estabilidade e consistência do processo.

Nesse sentido, cobrindo o portador de wafer epitaxia com o TAC oferece as seguintes vantagens:

● Estabilidade de alta temperatura: O revestimento TaC apresenta excelente estabilidade em altas temperaturas, permitindo manter sua estrutura e desempenho durante processos de epitaxia em altas temperaturas e proporcionando tolerância superior à temperatura.

● Estabilidade química: O revestimento TAC é resistente à corrosão de produtos químicos e atmosferas comuns, protegendo o transportador da degradação química e aumentando sua durabilidade.

● Dureza e resistência ao desgaste: O revestimento TaC possui alta dureza e resistência ao desgaste, fortalecendo a superfície do suporte do wafer epitaxídico, reduzindo danos e desgaste e prolongando sua vida útil.

● Condutividade térmica: O revestimento TAC demonstra boa condutividade térmica, auxiliando na dissipação de calor, mantendo uma temperatura de crescimento estável para a camada de epitaxia e melhorando a estabilidade e a consistência do processo.

Portanto, a escolha de um transportador de wafer epitaxílico com revestimento TaC ajuda a enfrentar os desafios da epitaxia LED, atendendo aos requisitos de ambientes químicos e de alta temperatura. Este revestimento oferece vantagens como estabilidade em altas temperaturas, estabilidade química, dureza e resistência ao desgaste e condutividade térmica, contribuindo para melhorar o desempenho, a vida útil e a eficiência de produção do transportador de wafer epitaxídico.