Revestimento de carboneto de tântalo

A VeTek semiconductor é fabricante líder de materiais de revestimento de carboneto de tântalo para a indústria de semicondutores. Nossas principais ofertas de produtos incluem peças de revestimento de carboneto de tântalo CVD, peças de revestimento TaC sinterizadas para crescimento de cristal SiC ou processo de epitaxia semicondutora. Aprovado pela ISO9001, a VeTek Semiconductor tem um bom controle de qualidade. A VeTek Semiconductor se dedica a se tornar inovadora na indústria de revestimento de carboneto de tântalo por meio de pesquisa e desenvolvimento contínuos de tecnologias iterativas.

Os principais produtos sãoAnel Guia Revestido TaC, Anel guia de três pétalas revestido com CVD TaC, Meia lua revestida com carboneto de tântalo TaC, Susceptor epitaxial SiC planetário com revestimento CVD TaC, Anel de revestimento de carboneto de tântalo, Grafite porosa revestida com carboneto de tântalo, Susceptor de rotação de revestimento TaC, Anel de carboneto de tântalo, Placa de rotação de revestimento TaC, Susceptor de wafer revestido com TaC, Anel Defletor Revestido TaC, Cobertura de revestimento CVD TaC, Mandril revestido com TaCetc., a pureza está abaixo de 5 ppm, pode atender às necessidades do cliente.

O grafite de revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).

Excellent properties of TaC coating graphite

O revestimento de carboneto de tântalo (TaC) tem ganhado atenção devido ao seu alto ponto de fusão de até 3880°C, excelente resistência mecânica, dureza e resistência a choques térmicos, tornando-o uma alternativa atraente para compostos de processos de epitaxia de semicondutores com requisitos de temperatura mais elevados. como o sistema Aixtron MOCVD e o processo de epitaxia LPE SiC. Ele também tem uma ampla aplicação no processo de crescimento de cristal SiC do método PVT.

Principais recursos:

●Estabilidade de temperatura

●Pureza ultra-alta

●Resistência a H2, NH3, SiH4,Si

●Resistência ao estoque térmico

●Forte adesão ao grafite

●Cobertura de revestimento isolante

● Tamanho de até 750 mm de diâmetro (o único fabricante na China atinge esse tamanho)

Aplicativos:

●Porta-wafers

● Susceptor de aquecimento indutivo

● Elemento de aquecimento resistivo

●Disco satélite

●Chuveiro

●Anel guia

●Receptor LED Epi

●Bocal de injeção

●Anel de mascaramento

● Escudo térmico

Revestimento de carboneto de tântalo (TaC) em uma seção transversal microscópica:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parâmetro do revestimento de carboneto de tântalo semicondutor VeTek:

Propriedades físicas do revestimento TaC
Densidade	14,3 (g/cm³)
Emissividade específica	0.3
Coeficiente de expansão térmica	6,3 10^-6/K
Dureza (HK)	2.000 Hong Kong
Resistência	1x10^-5Ohm*cm
Estabilidade térmica	<2500℃
Mudanças no tamanho do grafite	-10~-20um
Espessura do revestimento	≥20um valor típico (35um±10um)

Dados EDX de revestimento TaC：

EDX data of TaC coating

Dados da estrutura cristalina do revestimento TaC:

Elemento	Porcentagem atômica
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Média
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Eles	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandril de revestimento TaC Disco Planetário com Revestimento TaC
Placa revestida TaC Placa de rotação de revestimento TaC Receptor de revestimento TaC Cobertura de revestimento CVD TaC Anel de revestimento CVD TaC Placa de revestimento TaC

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Tubo de revestimento TaC

O tubo de revestimento TAC do Vetek Semiconductor é um componente essencial para o crescimento bem -sucedido de cristais únicos de carboneto de silício. Com sua resistência a alta temperatura, inércia química e excelente desempenho, isso garante a produção de cristais de alta qualidade com resultados consistentes. Confie em nossas soluções inovadoras para aprimorar o seu processo de crescimento de cristal de PVT e obter excelentes resultados.

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TAC Coating Part

Atualmente, o revestimento TAC é usado principalmente em processos como o crescimento de cristal único de carboneto de silício (método PVT), disco epitaxial (incluindo epitaxia de carboneto de silício, epitaxia de LED), etc. Combinada com a boa estabilidade de longo prazo da placa de revestimento TAC, a placa de cobertura de peças de vetemicon. Estamos ansiosos para você se tornar nosso parceiro de longo prazo.

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Gan no receptor EPI

O GaN no SiC Susceptor desempenha um papel vital no processamento de semicondutores por meio de sua excelente condutividade térmica, capacidade de processamento de alta temperatura e estabilidade química e garante a alta eficiência e a qualidade do material do processo de crescimento epitaxial de GaN. O Vetek Semiconductor é um fabricante profissional da China de GaN no SIC EPI Susceptor, esperamos sinceramente sua consulta adicional.

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Transportadora de revestimento TAC CVD

O transportador de revestimento TAC CVD é projetado principalmente para o processo epitaxial da fabricação de semicondutores. O ponto de fusão ultra-alto do transportador de revestimento TAC CVD, excelente resistência à corrosão e excelente estabilidade térmica determinam a indispensabilidade deste produto no processo epitaxial semicondutor. Dê boas -vindas à sua pergunta adicional.

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Receptor de grafite revestido com TaC

O susceptor de grafite revestido com TaC da VeTek Semiconductor usa o método de deposição química de vapor (CVD) para preparar o revestimento de carboneto de tântalo na superfície das peças de grafite. Este processo é o mais maduro e possui as melhores propriedades de revestimento. O susceptor de grafite revestido com TaC pode estender a vida útil dos componentes de grafite, inibir a migração de impurezas de grafite e garantir a qualidade da epitaxia.

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TAC Coating Subser

O vetek semicondutor apresenta o Susceptador de revestimento TAC, com seu revestimento TAC excepcional, este suscetador oferece uma infinidade de vantagens que o diferenciam das soluções convencionais. Integração perfeitamente em sistemas existentes, o Suscept de Compatibilidade de Semicondutores de VETEK. Seu desempenho confiável e revestimento TAC de alta qualidade fornecem consistentemente resultados excepcionais em processos de epitaxia SIC. Estamos comprometidos em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos e esperamos ser seu parceiro de longo prazo na China.

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Como fabricante e fornecedor profissional Revestimento de carboneto de tântalo na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas da sua região ou deseja comprar uma mensagem avançada e durável Revestimento de carboneto de tântalo na China, você pode nos deixar uma mensagem.

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