Aquecedor de revestimento TaC

O aquecedor de revestimento TaC é um elemento de aquecimento de alto desempenho amplamente utilizado em processos de fabricação de semicondutores. Sua superfície é revestida com material de carboneto de tântalo (TaC), o que confere ao aquecedor excelente resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão química e excelente condutividade térmica.

As principais aplicações do Aquecedor de Revestimento TaC na fabricação de semicondutores incluem:

 ✔ Durante o processo de crescimento epitaxial do nitreto de gálio (GaN), o aquecedor de revestimento TAC fornece um ambiente de alta temperatura com precisão controlado para garantir que a camada epitaxial seja depositada no substrato a uma taxa uniforme e alta qualidade. Sua saída de calor estável ajuda a obter controle preciso de materiais finos de filme, melhorando o desempenho do dispositivo.

 ✔ Além disso, no processo de deposição de vapor químico orgânico metálico (MOCVD), combinado com a resistência a altas temperaturas e condutividade térmica do revestimento TaC, o Aquecedor de revestimento TaC é geralmente usado para aquecer o gás de reação e, ao fornecer distribuição uniforme de calor, ele promove sua reação química na superfície do substrato, melhorando assim a uniformidade da camada epitaxial e formando um filme de alta qualidade.

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