Revestimento de carboneto de tântalo

A VeTek semiconductor é fabricante líder de materiais de revestimento de carboneto de tântalo para a indústria de semicondutores. Nossas principais ofertas de produtos incluem peças de revestimento de carboneto de tântalo CVD, peças de revestimento TaC sinterizadas para crescimento de cristal SiC ou processo de epitaxia semicondutora. Aprovado pela ISO9001, a VeTek Semiconductor tem um bom controle de qualidade. A VeTek Semiconductor se dedica a se tornar inovadora na indústria de revestimento de carboneto de tântalo por meio de pesquisa e desenvolvimento contínuos de tecnologias iterativas.

Os principais produtos sãoAnel Guia Revestido TaC, Anel guia de três pétalas revestido com CVD TaC, Meia lua revestida com carboneto de tântalo TaC, Susceptor epitaxial SiC planetário com revestimento CVD TaC, Anel de revestimento de carboneto de tântalo, Grafite porosa revestida com carboneto de tântalo, Susceptor de rotação de revestimento TaC, Anel de carboneto de tântalo, Placa de rotação de revestimento TaC, Susceptor de wafer revestido com TaC, Anel Defletor Revestido TaC, Cobertura de revestimento CVD TaC, Mandril revestido com TaCetc., a pureza está abaixo de 5 ppm, pode atender às necessidades do cliente.

O grafite de revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).

Excellent properties of TaC coating graphite

O revestimento de carboneto de tântalo (TaC) tem ganhado atenção devido ao seu alto ponto de fusão de até 3880°C, excelente resistência mecânica, dureza e resistência a choques térmicos, tornando-o uma alternativa atraente para compostos de processos de epitaxia de semicondutores com requisitos de temperatura mais elevados. como o sistema Aixtron MOCVD e o processo de epitaxia LPE SiC. Ele também tem uma ampla aplicação no processo de crescimento de cristal SiC do método PVT.

Principais recursos:

●Estabilidade de temperatura

●Pureza ultra-alta

●Resistência a H2, NH3, SiH4,Si

●Resistência ao estoque térmico

●Forte adesão ao grafite

●Cobertura de revestimento isolante

● Tamanho de até 750 mm de diâmetro (o único fabricante na China atinge esse tamanho)

Aplicativos:

●Porta-wafers

● Susceptor de aquecimento indutivo

● Elemento de aquecimento resistivo

●Disco satélite

●Chuveiro

●Anel guia

●Receptor LED Epi

●Bocal de injeção

●Anel de mascaramento

● Escudo térmico

Revestimento de carboneto de tântalo (TaC) em uma seção transversal microscópica:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parâmetro do revestimento de carboneto de tântalo semicondutor VeTek:

Propriedades físicas do revestimento TaC
Densidade	14,3 (g/cm³)
Emissividade específica	0.3
Coeficiente de expansão térmica	6,3 10^-6/K
Dureza (HK)	2.000 Hong Kong
Resistência	1x10^-5Ohm*cm
Estabilidade térmica	<2500℃
Mudanças no tamanho do grafite	-10~-20um
Espessura do revestimento	≥20um valor típico (35um±10um)

Dados EDX de revestimento TaC：

EDX data of TaC coating

Dados da estrutura cristalina do revestimento TaC:

Elemento	Porcentagem atômica
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Média
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Eles	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandril de revestimento TaC Disco Planetário com Revestimento TaC
Placa revestida TaC Placa de rotação de revestimento TaC Receptor de revestimento TaC Cobertura de revestimento CVD TaC Anel de revestimento CVD TaC Placa de revestimento TaC

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Anel de revestimento tac cvd

Na indústria de semicondutores, o anel de revestimento CVD TAC é um componente altamente vantajoso projetado para atender aos requisitos exigentes dos processos de crescimento de cristal de carboneto de silício (SIC). O anel de revestimento TAC CVD TAC do VETEK SEMICONDUTOR fornece excelente resistência de alta temperatura e inércia química, tornando-a uma escolha ideal para ambientes caracterizados por temperaturas elevadas e condições corrosivas. Estamos comprometidos em criar uma produção eficiente de acessórios de cristal único de carboneto de silício. Por favor, sinta -se à vontade para entrar em contato conosco para mais perguntas.

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Lpe sic epi mei -lua

O LPE SIC EPI Halfmoon é um design especial para o forno de epitaxia horizonacional, um produto revolucionário projetado para elevar os processos de epitaxia do reator de LPE. Esta solução de ponta possui vários recursos importantes que garantem desempenho e eficiência superiores ao longo de suas operações de fabricação. O semicondutor de vetek é profissional na fabricação da meia-lua de Epi em 6 polegadas e 8 polegadas.

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EPI LED

O vetek semicondutor é um fornecedor líder de revestimentos TAC e peças de grafite de revestimento SiC. Somos especializados na produção de susceptores de EPI de ponta LED, essenciais para os processos de epitaxia de LED. Ansioso por sua consulta adicional.

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Susceptor MOCVD com revestimento TaC

O vetek semicondutor é um fornecedor abrangente envolvido nas pesquisas, desenvolvimento, produção, design e vendas de revestimentos TAC e peças de revestimento SiC. Nossa experiência está na produção de susceptores de MOCVD de última geração com o revestimento TAC, que desempenham um papel vital no processo de epitaxia LED. Convidamos você a discutir conosco consultas e mais informações.

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Susceptador LED de UV profundo revestido de TAC

O revestimento TaC é um revestimento de nova geração desenvolvido para ambientes agressivos. A VeTek Semiconductor é um fornecedor integrado envolvido em pesquisa e desenvolvimento, produção, design e vendas de revestimentos TaC. Somos especializados na fabricação de susceptores de LED UV revestidos com TaC de ponta, que são componentes cruciais no processo de epitaxia de LED. Nosso susceptor LED UV profundo revestido com TaC oferece alta condutividade térmica, alta resistência mecânica, maior eficiência de produção e proteção de wafer epitaxial. Bem-vindo ao nos consultar.

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Meia lua revestida com carboneto de tântalo TaC

As peças de meia-lua revestidas com revestimento CVD TaC são mais duráveis do que as peças de meia-lua revestidas com SiC. VeTek Semiconductor é o principal fabricante e fornecedor na China de meia-lua revestida com carboneto de tântalo TaC, nos especializamos em P&D e produção, podemos controlar bem a qualidade e oferecer um competitivo preço. Você está convidado a visitar nossa fábrica para uma discussão mais aprofundada sobre uma cooperação de longo prazo.

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Como fabricante e fornecedor profissional Revestimento de carboneto de tântalo na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas da sua região ou deseja comprar uma mensagem avançada e durável Revestimento de carboneto de tântalo na China, você pode nos deixar uma mensagem.

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