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Revestimento de carboneto de tântalo

A VeTek semiconductor é fabricante líder de materiais de revestimento de carboneto de tântalo para a indústria de semicondutores. Nossas principais ofertas de produtos incluem peças de revestimento de carboneto de tântalo CVD, peças de revestimento TaC sinterizadas para crescimento de cristal SiC ou processo de epitaxia semicondutora. Aprovado pela ISO9001, a VeTek Semiconductor tem um bom controle de qualidade. A VeTek Semiconductor se dedica a se tornar inovadora na indústria de revestimento de carboneto de tântalo por meio de pesquisa e desenvolvimento contínuos de tecnologias iterativas.


Os principais produtos sãoAnel Guia Revestido TaC, Anel guia de três pétalas revestido com CVD TaC, Meia lua revestida com carboneto de tântalo TaC, Susceptor epitaxial SiC planetário com revestimento CVD TaC, Anel de revestimento de carboneto de tântalo, Grafite porosa revestida com carboneto de tântalo, Susceptor de rotação de revestimento TaC, Anel de carboneto de tântalo, Placa de rotação de revestimento TaC, Susceptor de wafer revestido com TaC, Anel Defletor Revestido TaC, Cobertura de revestimento CVD TaC, Mandril revestido com TaCetc., a pureza está abaixo de 5 ppm, pode atender às necessidades do cliente.


O grafite de revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).


Excellent properties of TaC coating graphite


O revestimento de carboneto de tântalo (TaC) tem ganhado atenção devido ao seu alto ponto de fusão de até 3880°C, excelente resistência mecânica, dureza e resistência a choques térmicos, tornando-o uma alternativa atraente para compostos de processos de epitaxia de semicondutores com requisitos de temperatura mais elevados. como o sistema Aixtron MOCVD e o processo de epitaxia LPE SiC. Ele também tem uma ampla aplicação no processo de crescimento de cristal SiC do método PVT.


Principais recursos:

 ●Estabilidade de temperatura

 ●Pureza ultra-alta

 ●Resistência a H2, NH3, SiH4,Si

 ●Resistência ao estoque térmico

 ●Forte adesão ao grafite

 ●Cobertura de revestimento isolante

 ● Tamanho de até 750 mm de diâmetro (o único fabricante na China atinge esse tamanho)


Aplicativos:

 ●Porta-wafers

 ● Susceptor de aquecimento indutivo

 ● Elemento de aquecimento resistivo

 ●Disco satélite

 ●Chuveiro

 ●Anel guia

 ●Receptor LED Epi

 ●Bocal de injeção

 ●Anel de mascaramento

 ● Escudo térmico


Revestimento de carboneto de tântalo (TaC) em uma seção transversal microscópica:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parâmetro do revestimento de carboneto de tântalo semicondutor VeTek:

Propriedades físicas do revestimento TaC
Densidade 14,3 (g/cm³)
Emissividade específica 0.3
Coeficiente de expansão térmica 6,3 10-6/K
Dureza (HK) 2.000 Hong Kong
Resistência 1x10-5Ohm*cm
Estabilidade térmica <2500℃
Mudanças no tamanho do grafite -10~-20um
Espessura do revestimento ≥20um valor típico (35um±10um)


Dados EDX de revestimento TaC：

EDX data of TaC coating


Dados da estrutura cristalina do revestimento TaC:

Elemento Porcentagem atômica
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Média
CK 52.10 57.41 52.37 53.96
Eles 47.90 42.59 47.63 46.04


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Grafite porosa com tac revestido

Grafite porosa com tac revestido

A grafite porosa com revestida com TAC é um material de processamento de semicondutores avançado fornecido pelo vetek semicondutor. A grafite porosa com revestida com TAC combina as vantagens do revestimento poroso de grafite e carboneto de tântalo (TAC), com boa condutividade térmica e permeabilidade a gás. O vetek semicondutor está comprometido em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos.
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Tampa de revestimento de carboneto de tantalum

Tampa de revestimento de carboneto de tantalum

A tampa do revestimento de carboneto de Tantalum é composta por grafite de alta pureza e revestimento TAC. O vetek semicondutor é um fornecedor líder e fabricante da Tantalum Carboking Coating Cover na China. Nós nos concentramos em fornecer produtos de carboneto de tântalo resistentes a alta pureza e alta temperatura. Nossa cobertura revestida com carboneto de tântalo tem excelente desempenho e confiabilidade e pode proteger efetivamente os materiais em ambientes de temperatura extremamente alta e corrosivos. Estamos ansiosos para nos tornar seu parceiro de longo prazo na China. Bem -vindo a consultar a qualquer momento.
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Anel de defletor revestido com TAC

Anel de defletor revestido com TAC

O anel de defletor revestido com TAC semicondutor é um componente altamente especializado projetado para processos de crescimento de cristais SiC. O revestimento TAC fornece excelente resistência à alta temperatura e inércia química para lidar com as altas temperaturas e ambientes corrosivos durante o processo de crescimento de cristais. Isso garante desempenho estável e vida útil longa do componente, reduzindo a frequência de substituição e tempo de inatividade. Estamos comprometidos em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos e esperamos ser seu parceiro de longo prazo na China.
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Tubo revestido de carboneto de tântalo para crescimento de cristais

Tubo revestido de carboneto de tântalo para crescimento de cristais

O tubo revestido de carboneto de tântalo para crescimento de cristais é usado principalmente no processo de crescimento de cristais SiC. O vetek semicondutor fornece tubo revestido de carboneto de tantalum para crescimento de cristais há muitos anos e trabalha no campo do revestimento TAC há muitos anos. Nossos produtos têm uma alta pureza e alta resistência à temperatura. Estamos ansiosos para nos tornar seu parceiro de longo prazo na China. Sinta -se à vontade para nos perguntar.
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Anel revestido de TaC para reator epitaxial de SiC

Anel revestido de TaC para reator epitaxial de SiC

O VETEK SEMICONDUCOR é um dos principais fabricantes e inovadores tecnológicos do anel revestido de TAC para reator epitaxial do SIC na China, com foco no fornecimento de soluções de alto desempenho para os reatores epitaxiais do SIC. Temos muitos anos de experiência em tecnologia de revestimento TAC. O anel revestido de TAC tem as características de alta pureza, alta estabilidade, excelente resistência à corrosão, etc., e podem fornecer desempenho estável a longo prazo no ambiente de trabalho severo dos reatores epitaxiais. Estamos ansiosos para estabelecer uma parceria estratégica de longo prazo com você.
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Peça de meia lua revestida de carboneto de tântalo para LPE

Peça de meia lua revestida de carboneto de tântalo para LPE

A VeTek Semiconductor é um fornecedor líder de peças Halfmoon revestidas com carboneto de tântalo para LPE na China, com foco na tecnologia de revestimento TaC por muitos anos. Nossa peça meia-lua revestida com carboneto de tântalo para LPE é projetada para processo de epitaxia em fase líquida e pode suportar altas temperaturas de mais de 2.000 graus Celsius. Com excelente desempenho de materiais e inovação de processos, a vida útil de nossos produtos é líder na indústria. A VeTek Semiconductor espera ser seu parceiro de longo prazo na China.
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Como fabricante e fornecedor profissional Revestimento de carboneto de tântalo na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas da sua região ou deseja comprar uma mensagem avançada e durável Revestimento de carboneto de tântalo na China, você pode nos deixar uma mensagem.
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