Meia lua revestida com carboneto de tântalo TaC

O vetek semicondutor é um fabricante e fornecedor profissional de meia -lua com revestimento de tacida de china. O vetek semicondutor oferece meia -lua revestida com tantalum tac, que desempenha um papel de apoio e transporte no processo epitaxial de carboneto de silício, mas não apenas suporta o substrato, mas também fornece uma base plana, permitindo que a epitaxia cresça uniformemente.

A qualidade e o desempenho da peça em meia-lua afetam diretamente a qualidade e o desempenho do wafer durante o processo epitaxial de carboneto de silício. Portanto, projetar e selecionar a peça em meia-lua apropriada é crucial para o sucesso do processo epitaxial de SiC. A meia-lua revestida com carboneto de tântalo TaC fabricada pela VeTek Semiconductor pode aumentar sua resistência a altas temperaturas, resistência à corrosão e resistência ao desgaste, melhorando muito a estabilidade e a vida útil do componente de meia-lua durante o processo de crescimento.

Parâmetro do revestimento de carboneto Tantalum:

Vantagens de nossa meia -lua revestida com carboneto Tantalum TAC:

1. Alta resistência à temperatura

2. Alta resistência à corrosão

3. Alta dureza e resistência ao desgaste

4. Boa condutividade térmica

5. Boa inércia química

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