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Placa de revestimento TAC
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Placa de revestimento TAC

Projetado com precisão e projetado com perfeição, a placa de revestimento TAC do VETEK SEMICONDUCTOR é especificamente adaptada para várias aplicações nos processos de crescimento de cristal único de carboneto de silício (SIC). As dimensões precisas de revestimento TAC e a construção robusta facilitam a integração dos sistemas existentes, a compatibilidade sem costura e a operação eficiente. Seu desempenho confiável e revestimento de alta qualidade contribuem para resultados consistentes e uniformes em aplicações de crescimento de cristais SiC. Estamos comprometidos em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos e esperamos ser seu parceiro de longo prazo na China.

Como um fabricante e fornecedor de placas de revestimento TAC líder, a placa de revestimento TAC TAC semicondutora de vetek funciona como parte essencial deReator de epitaxia semicondutores, o que ajuda a excelente rendimento da camada epitaxial e a eficiência do crescimento e a melhorar a qualidade do produto. Você pode ter certeza de comprar a placa de revestimento TAC de nossa fábrica.


Para a produção de novos semicondutores com ambientes de preparação mais severos e mais severos, como a preparação da folha epitaxial do nitreto do terceiro grupo principal (GaN) por deposição de vapor químico orgânico metálico (MOCVD), e a preparação de filmes de crescimento epitaxial siC por deposição de vapor químico (CVD) são erodidos2e NH3em ambientes de alta temperatura. As camadas de proteção SIC e BN na superfície dos portadores de crescimento existentes ou canais de gases podem falhar devido ao seu envolvimento em reações químicas, o que afeta adversamente a qualidade de produtos como cristais e semicondutores. 


Portanto, é necessário encontrar um material com melhor estabilidade química e resistência à corrosão como uma camada protetora para melhorar a qualidade dos cristais, semicondutores e outros produtos. O carboneto de tântalo possui excelentes propriedades físicas e químicas, devido ao papel das fortes ligações químicas, sua estabilidade química de alta temperatura e resistência à corrosão é muito maior que o SiC, BN etc., é uma ótima perspectiva de aplicação de resistência à corrosão, estabilidade térmica revestimento pendente.


O vetek semicondutor possui equipamentos de produção avançados e sistema de gerenciamento de qualidade perfeito, controle rigoroso do processo para garantir oRevestimento TACEm lotes de consistência do desempenho, a empresa possui capacidade de produção em larga escala, para atender às necessidades dos clientes em grandes quantidades de fornecimento, mecanismo de monitoramento de qualidade perfeito para garantir a qualidade de cada produto estável e confiável.


Revestimento de carboneto de tântalo em uma seção transversal microscópica:

Tantalum carbide coating on a microscopic cross-section


Parâmetro básico do produto da placa de revestimento TAC:

Propriedades físicas do revestimento TAC
Densidade de revestimento 14.3 (g/cm³)
Emissividade específica 0.3
Coeficiente de expansão térmica 6.3*10-6/K
TAC Toned Disidade (HK) 2000 HK
Resistência 1 × 10-5 ohm*cm
Estabilidade térmica <2500 ℃
Mudanças de tamanho de grafite -10 ~ -20um
Espessura do revestimento ≥20um valor típico (35um ± 10um)


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