Suporte de revestimento de carboneto de Tantalum

A principal função do vetek semicondutorRevestimento de carboneto de tântalo (tac)O apoio é melhorar oResistência ao calor, resistência ao desgaste e resistência à corrosãodo substrato revestindo uma camada de revestimento de carboneto de tântalo, de modo a melhorar a precisão e a confiabilidade do processo e prolongar a vida útil dos componentes. É um produto de revestimento de alto desempenho usado no campo do processamento de semicondutores.

O torcedor do revestimento de carboneto de Tantalum do VETEK semicondutor tem uma dureza Mohs de quase 9 ~ 10, perdendo apenas o diamante. Possui resistência de desgaste extremamente forte e pode resistir efetivamente ao desgaste e impacto da superfície durante o processamento, estendendo efetivamente a vida útil dos componentes do equipamento. Combinado com seu alto ponto de fusão de cerca de 3880 ° C, é frequentemente usado para revestir componentes -chave de equipamentos de semicondutores, como revestimentos de superfície de estruturas de suporte, equipamentos de tratamento térmico, câmaras ou juntas em equipamentos de semicondutores para melhorar sua resistência ao desgaste e alta resistência à temperatura.

Devido ao ponto de fusão extremamente alto do carboneto de tântalo de cerca de 3880 ° C, em processos de processamento de semicondutores, comoDeposição de vapor químico (CVD)eDeposição de vapor físico (PVD)O revestimento TAC com forte resistência à alta temperatura e resistência a corrosão química pode efetivamente proteger os componentes do equipamento e impedir a corrosão ou danos ao substrato em ambientes extremos, fornecendo proteção eficaz para ambientes de alta temperatura na fabricação de wafer. Esse recurso também determina que o suporte ao revestimento de carboneto de tantalum do Vetek Semiconductor é frequentemente usado em processos de gravação e corrosivo.

O suporte de revestimento de carboneto de tântalo também tem a função de reduzir a contaminação por partículas. Durante o processamento da wafer, o desgaste da superfície geralmente produz contaminação por partículas, o que afeta a qualidade do produto da bolacha. As características extremas do produto extremo do TAC de cerca de 9 a 10 Mohs dureza podem reduzir efetivamente esse desgaste, reduzindo assim a geração de partículas. Combinado com a excelente condutividade térmica do TAC Coating (cerca de 21 w/m · k), ele pode manter uma boa condutividade térmica sob condições de alta temperatura, melhorando bastante o rendimento e a consistência da fabricação de bolacha.

Os principais produtos de revestimento TAC do semicondutor vetek incluemAquecedor de revestimento TAC, CVD TAC Coating Crucible, Susceptador de rotação de revestimento TACeTAC Coating Part, etc., e suportar serviços de produtos personalizados. O vetek semicondutor está comprometido em fornecer excelentes produtos e soluções técnicas para a indústria de semicondutores. Sinceramente, esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

Revestimento de carboneto de tântalo (TAC) em uma seção transversal microscópica:

Propriedades físicas básicas do revestimento de CVD TAC：