TAC Coating Part

É semicondutorPlaca de revestimento TACé um material especial amplamente utilizado nosemicondutorprocesso de fabricação. Combinado com sua alta dureza e resistência ao desgaste, resistência à alta temperatura, resistência à corrosão, baixo coeficiente de atrito e boa condutividade térmica, a placa de revestimento TAC desempenha um papel insubstituível em muitos vínculos do processamento de semicondutores.

Geralmente, as aplicações dePlacas revestidas com TACNo processamento de semicondutores, são os seguintes:

● Substrato de crescimento CVD/ALD: A resistência à alta temperatura, estabilidade química e baixo coeficiente de atrito de placas revestidas com TAC os tornam substratos ideais de crescimento CVD/ALD. Ele pode fornecer um ambiente de crescimento estável para garantir a uniformidade e a densidade do filme.

●  Placa de máscara de gravação: A alta dureza e resistência à corrosão das placas revestidas com TAC permitem que eles suportem processos de alta energia, como a gravação plasmática, como placas de máscara de gravação, protegendo o filme subjacente.

●  Almofada de polimento do CMP: A resistência ao desgaste e o baixo coeficiente de atrito das placas revestidas com TAC os tornam materiais ideais para almofadas de polimento de CMP, que podem efetivamente remover partículas e defeitos na superfície do filme.

●  Tubo de forno de alta temperatura: A resistência à alta temperatura e a resistência à corrosão das placas revestidas com TAC permitem que elas sejam usadas como tubos do forno em fornos de alta temperatura para recozimento de alta temperatura, difusão e outros processos.

Parâmetros técnicos de revestimento TAC CVD：

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