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Revestimento de carboneto de tântalo

A VeTek semiconductor é fabricante líder de materiais de revestimento de carboneto de tântalo para a indústria de semicondutores. Nossas principais ofertas de produtos incluem peças de revestimento de carboneto de tântalo CVD, peças de revestimento TaC sinterizadas para crescimento de cristal SiC ou processo de epitaxia semicondutora. Aprovado pela ISO9001, a VeTek Semiconductor tem um bom controle de qualidade. A VeTek Semiconductor se dedica a se tornar inovadora na indústria de revestimento de carboneto de tântalo por meio de pesquisa e desenvolvimento contínuos de tecnologias iterativas.


Os principais produtos sãoAnel Guia Revestido TaC, Anel guia de três pétalas revestido com CVD TaC, Meia lua revestida com carboneto de tântalo TaC, Susceptor epitaxial SiC planetário com revestimento CVD TaC, Anel de revestimento de carboneto de tântalo, Grafite porosa revestida com carboneto de tântalo, Susceptor de rotação de revestimento TaC, Anel de carboneto de tântalo, Placa de rotação de revestimento TaC, Susceptor de wafer revestido com TaC, Anel Defletor Revestido TaC, Cobertura de revestimento CVD TaC, Mandril revestido com TaCetc., a pureza está abaixo de 5 ppm, pode atender às necessidades do cliente.


O grafite de revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).


Excellent properties of TaC coating graphite


O revestimento de carboneto de tântalo (TaC) tem ganhado atenção devido ao seu alto ponto de fusão de até 3880°C, excelente resistência mecânica, dureza e resistência a choques térmicos, tornando-o uma alternativa atraente para compostos de processos de epitaxia de semicondutores com requisitos de temperatura mais elevados. como o sistema Aixtron MOCVD e o processo de epitaxia LPE SiC. Ele também tem uma ampla aplicação no processo de crescimento de cristal SiC do método PVT.


Principais recursos:

 ●Estabilidade de temperatura

 ●Pureza ultra-alta

 ●Resistência a H2, NH3, SiH4,Si

 ●Resistência ao estoque térmico

 ●Forte adesão ao grafite

 ●Cobertura de revestimento isolante

 ● Tamanho de até 750 mm de diâmetro (o único fabricante na China atinge esse tamanho)


Aplicativos:

 ●Porta-wafers

 ● Susceptor de aquecimento indutivo

 ● Elemento de aquecimento resistivo

 ●Disco satélite

 ●Chuveiro

 ●Anel guia

 ●Receptor LED Epi

 ●Bocal de injeção

 ●Anel de mascaramento

 ● Escudo térmico


Revestimento de carboneto de tântalo (TaC) em uma seção transversal microscópica:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


Parâmetro do revestimento de carboneto de tântalo semicondutor VeTek:

Propriedades físicas do revestimento TaC
Densidade 14,3 (g/cm³)
Emissividade específica 0.3
Coeficiente de expansão térmica 6,3 10-6/K
Dureza (HK) 2.000 Hong Kong
Resistência 1x10-5Ohm*cm
Estabilidade térmica <2500℃
Mudanças no tamanho do grafite -10~-20um
Espessura do revestimento ≥20um valor típico (35um±10um)


Dados EDX de revestimento TaC：

EDX data of TaC coating


Dados da estrutura cristalina do revestimento TaC:

Elemento Porcentagem atômica
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Média
CK 52.10 57.41 52.37 53.96
Eles 47.90 42.59 47.63 46.04


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Susceptor de rotação de revestimento TaC

Susceptor de rotação de revestimento TaC

Como fabricante profissional, inovador e líder de produtos Susceptores de Rotação de Revestimento TaC na China. O susceptor de rotação de revestimento VeTek Semiconductor TaC é geralmente instalado em equipamentos de deposição química de vapor (CVD) e epitaxia por feixe molecular (MBE) para suportar e girar wafers para garantir deposição uniforme de material e reação eficiente. É um componente chave no processamento de semicondutores. Bem-vindo a sua consulta adicional.
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Cadinho de revestimento CVD TaC

Cadinho de revestimento CVD TaC

VeTek Semiconductor é um fabricante profissional e líder de produtos de cadinho de revestimento CVD TaC na China. O cadinho de revestimento CVD TaC é baseado em revestimento de carbono de tântalo (TaC). O revestimento de carbono de tântalo é coberto uniformemente na superfície do cadinho através do processo de deposição química de vapor (CVD) para aumentar sua resistência ao calor e à corrosão. É uma ferramenta material especialmente utilizada em ambientes extremos de alta temperatura. Bem-vindo a sua consulta adicional.
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Transportadora de bolacha de revestimento TAC CVD

Transportadora de bolacha de revestimento TAC CVD

Como um fabricante profissional de produtos e fábrica de transportador de bolacha CVD TAC na China, o portador de wafer de revestimento TAC semicondutor VETEK é uma ferramenta de transporte de wafer, especialmente projetada para altas temperaturas e ambientes corrosivos na fabricação de semicondutores. e o transportador de wafer de revestimento TAC CVD possui alta resistência mecânica, excelente resistência à corrosão e estabilidade térmica, fornecendo a garantia necessária para a fabricação de dispositivos semicondutores de alta qualidade. Suas mais perguntas são bem -vindas.
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Aquecedor de revestimento TaC

Aquecedor de revestimento TaC

O aquecedor de revestimento VeTek Semiconductor TaC tem um ponto de fusão extremamente alto (cerca de 3880°C). O alto ponto de fusão permite operar em temperaturas extremamente altas, especialmente no crescimento de camadas epitaxiais de nitreto de gálio (GaN) no processo de deposição química de vapor orgânico metálico (MOCVD). A VeTek Semiconductor está comprometida em fornecer aos clientes soluções de produtos personalizadas. Estamos ansiosos para ouvir de você.
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Revestimento TAC CVD

Revestimento TAC CVD

VeTek Semiconductor é fabricante líder de produtos de revestimento CVD TAC na China. Por muitos anos, temos nos concentrado em vários produtos de revestimento CVD TAC, como cobertura de revestimento CVD TaC, anel de revestimento CVD TaC. A VeTek Semiconductor oferece suporte a serviços de produtos personalizados e preços de produtos satisfatórios e aguarda sua consulta adicional.
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TAC revestido Chuck

TAC revestido Chuck

Com sua resistência à alta temperatura, inércia química e excelente desempenho, os mandíbulas revestidas com TAC do Vetek Semiconductor são projetadas para fornos semicondutores. Acreditamos que nossos produtos podem trazer a tecnologia avançada e soluções de produtos de qualidade.
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Como fabricante e fornecedor profissional Revestimento de carboneto de tântalo na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas da sua região ou deseja comprar uma mensagem avançada e durável Revestimento de carboneto de tântalo na China, você pode nos deixar uma mensagem.
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