Revestimento de carboneto de tântalo

A VeTek semiconductor é fabricante líder de materiais de revestimento de carboneto de tântalo para a indústria de semicondutores. Nossas principais ofertas de produtos incluem peças de revestimento de carboneto de tântalo CVD, peças de revestimento TaC sinterizadas para crescimento de cristal SiC ou processo de epitaxia semicondutora. Aprovado pela ISO9001, a VeTek Semiconductor tem um bom controle de qualidade. A VeTek Semiconductor se dedica a se tornar inovadora na indústria de revestimento de carboneto de tântalo por meio de pesquisa e desenvolvimento contínuos de tecnologias iterativas.

Os principais produtos sãoAnel Guia Revestido TaC, Anel guia de três pétalas revestido com CVD TaC, Meia lua revestida com carboneto de tântalo TaC, Susceptor epitaxial SiC planetário com revestimento CVD TaC, Anel de revestimento de carboneto de tântalo, Grafite porosa revestida com carboneto de tântalo, Susceptor de rotação de revestimento TaC, Anel de carboneto de tântalo, Placa de rotação de revestimento TaC, Susceptor de wafer revestido com TaC, Anel Defletor Revestido TaC, Cobertura de revestimento CVD TaC, Mandril revestido com TaCetc., a pureza está abaixo de 5 ppm, pode atender às necessidades do cliente.

O grafite de revestimento TaC é criado revestindo a superfície de um substrato de grafite de alta pureza com uma fina camada de carboneto de tântalo por um processo proprietário de Deposição Química de Vapor (CVD).

Excellent properties of TaC coating graphite

O revestimento de carboneto de tântalo (TaC) tem ganhado atenção devido ao seu alto ponto de fusão de até 3880°C, excelente resistência mecânica, dureza e resistência a choques térmicos, tornando-o uma alternativa atraente para compostos de processos de epitaxia de semicondutores com requisitos de temperatura mais elevados. como o sistema Aixtron MOCVD e o processo de epitaxia LPE SiC. Ele também tem uma ampla aplicação no processo de crescimento de cristal SiC do método PVT.

Principais recursos:

●Estabilidade de temperatura

●Pureza ultra-alta

●Resistência a H2, NH3, SiH4,Si

●Resistência ao estoque térmico

●Forte adesão ao grafite

●Cobertura de revestimento isolante

● Tamanho de até 750 mm de diâmetro (o único fabricante na China atinge esse tamanho)

Aplicativos:

●Porta-wafers

● Susceptor de aquecimento indutivo

● Elemento de aquecimento resistivo

●Disco satélite

●Chuveiro

●Anel guia

●Receptor LED Epi

●Bocal de injeção

●Anel de mascaramento

● Escudo térmico

Revestimento de carboneto de tântalo (TaC) em uma seção transversal microscópica:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parâmetro do revestimento de carboneto de tântalo semicondutor VeTek:

Propriedades físicas do revestimento TaC
Densidade	14,3 (g/cm³)
Emissividade específica	0.3
Coeficiente de expansão térmica	6,3 10^-6/K
Dureza (HK)	2.000 Hong Kong
Resistência	1x10^-5Ohm*cm
Estabilidade térmica	<2500℃
Mudanças no tamanho do grafite	-10~-20um
Espessura do revestimento	≥20um valor típico (35um±10um)

Dados EDX de revestimento TaC：

EDX data of TaC coating

Dados da estrutura cristalina do revestimento TaC:

Elemento	Porcentagem atômica
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Média
CK	52.10	57.41	52.37	53.96
Eles	47.90	42.59	47.63	46.04

Mandril de revestimento TaC Disco Planetário com Revestimento TaC
Placa revestida TaC Placa de rotação de revestimento TaC Receptor de revestimento TaC Cobertura de revestimento CVD TaC Anel de revestimento CVD TaC Placa de revestimento TaC

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O Vetek Semiconductor é uma empresa chinesa que é fabricante de classe mundial e fornecedora do suscetador de epitaxia de Gan. Trabalhamos na indústria de semicondutores, como revestimentos de carboneto de silício e susceptador de epitaxia de Gan há muito tempo. Podemos fornecer a você excelentes produtos e preços favoráveis. O vetek semicondutor espera se tornar seu parceiro de longo prazo.

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Susceptador de bolacha revestida com TAC

Susceptador de bolacha revestido com semicondutores de vetek é uma bandeja de grafite revestida com carboneto de tantalum para crescimento epitaxial de carboneto de silício para melhorar a qualidade e o desempenho da wafer. A VETEK é selecionada devido à sua tecnologia avançada de revestimento e soluções duráveis para garantir excelentes resultados de epitaxia do SIC e prolongar a vida útil do suscetador, receba suas perguntas adicionais.

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Como fabricante e fornecedor profissional Revestimento de carboneto de tântalo na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas da sua região ou deseja comprar uma mensagem avançada e durável Revestimento de carboneto de tântalo na China, você pode nos deixar uma mensagem.

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