Anel revestido de TAC para crescimento de PVT de um único cristal siC

Atualmente, os dispositivos de energia SIC estão se tornando cada vez mais populares, portanto a fabricação de dispositivos semicondutores relacionados é mais importante e as propriedades do SiC devem ser melhoradas. SiC é o substrato no semicondutor. Como matéria -prima indispensável para dispositivos SiC, como produzir com eficiência o cristal SiC é um dos tópicos importantes. No processo de crescimento do método de cristal SiC por PVT (transporte físico de vapor), o anel revestido de TAC do Vetek Semiconductor para o crescimento da PVT de cristal único SiC desempenha um papel indispensável e importante. Após um design e fabricação cuidadosos, este anel revestido com TAC fornece excelente desempenho e confiabilidade, garantindo a eficiência e a estabilidade doCrescimento do cristal SiCprocesso.

O revestimento de carboneto de tântalo (TAC) ganhou atenção devido ao seu alto ponto de fusão de até 3880 ° C, excelente resistência mecânica, dureza e resistência a choques térmicos, tornando -o uma alternativa atraente para compor os processos de epitaxia semicondutores.

Anel revestido com TACRecursos do produto

(I) Material de revestimento TAC de alta qualidade, ligação com material de grafite

Anel revestido de TAC para crescimento de PVT de cristal único SiC usando material de grafite SGL de alta qualidade como substrato, possui boa condutividade térmica e estabilidade de material extremamente alta. O revestimento TAC CVD fornece uma superfície não porosa. Ao mesmo tempo, o TAC CVD de alta pureza (carboneto de tântalo) é usado como material de revestimento, que possui dureza extremamente alta, ponto de fusão e estabilidade química. O revestimento TAC pode manter um excelente desempenho em alta temperatura (geralmente até 2000 ℃ ou mais) e um ambiente altamente corrosivo do crescimento do cristal SiC pelo método PVT, resistindo efetivamente reações químicas e erosão física duranteCrescimento SiC, prolongue bastante a vida útil do anel de revestimento e reduza os custos de manutenção de equipamentos e o tempo de inatividade.

10 µm 300 µm

Revestimento TACcom alta cristalinidade e excelente uniformidade

(Ii) Processo de revestimento preciso

A tecnologia avançada de processo de revestimento de CVD do Vetek Semiconductor garante que o revestimento TAC seja uniforme e densamente coberto na superfície do anel. A espessura do revestimento pode ser controlada com precisão em ± 5um, garantindo a distribuição uniforme do campo de temperatura e do campo de fluxo de ar durante o processo de crescimento de cristais, que é propício ao crescimento de alta e grande qualidade dos cristais SiC.

A espessura geral do revestimento é de 35 ± 5um, também podemos personalizá -lo de acordo com o seu requisito.

(Iii) Excelente estabilidade de alta temperatura e resistência ao choque térmico

No ambiente de alta temperatura do método PVT, o anel revestido de TAC para o crescimento de PVT do cristal único SiC mostra excelente estabilidade térmica.

Resistência a H2, NH3, SIH4, SI

Pureza ultra-alta para impedir a contaminação do processo

Alta resistência a choques térmicos para ciclos de operação mais rápidos

Pode suportar o assado de alta temperatura a longo prazo, sem deformação, rachadura ou derramamento de revestimento. Durante o crescimento dos cristais SiC, a temperatura muda com frequência. O anel revestido de TAC do VETEK SEMICONDUTOR para o crescimento de PVT de cristal único SiC possui excelente resistência ao choque térmico e pode se adaptar rapidamente a mudanças rápidas de temperatura sem rachaduras ou danos. Melhorar ainda mais a eficiência da produção e a qualidade do produto.

O vetek semicondutor está ciente de que diferentes clientes têm diferentes equipamentos e processos de crescimento de cristais PVT Sic, por isso fornece serviços personalizados para anel revestido de TAC para o crescimento da PVT de um único cristal do SiC. Seja as especificações de tamanho do corpo do anel, a espessura do revestimento ou os requisitos de desempenho especiais, podemos adaptá -lo de acordo com seus requisitos para garantir que o produto corresponda perfeitamente ao seu equipamento e processo, fornecendo a solução mais otimizada.

Propriedades físicas do revestimento TAC

É semicondutorAnel revestido com TAC lojas de produção