Placa de suporte para pedestal de revestimento TAC

O vetek semicondutor é o fabricante e fornecedor da China que produz principalmente susceptores de revestimento de CVD TAC, anel de entrada, wafer chunck, suporte revestido de TAC, placa de suporte para pedestal de revestimento TAC com muitos anos de experiência. Espero construir um relacionamento comercial com você.

A cerâmica TAC tem um ponto de fusão de até 3880 ℃, alta dureza (dureza MOHS 9 ~ 10), grande condutividade térmica (22W · M^-1· K^-1), grande resistência à flexão (340 ~ 400MPa) e pequeno coeficiente de expansão térmica (6,6 × 10^-6K^-1) e mostre excelente estabilidade termoquímica e excelentes propriedades físicas. Possui boa compatibilidade química e mecânica com materiais compostos de grafite e C/C, portanto, o revestimento TAC é amplamente utilizado na proteção térmica aeroespacial, crescimento de cristal único e reatores epitaxiais como Aixtron, reator de LPE EPI na indústria de semicondutores. 

TaC coated graphite has better chemical corrosion resistance than bare stone ink or SiC coated graphite, can be used stably at 2200° high temperature, does not react with many metal elements, is the third generation of semiconductor single crystal growth, epitaxy and wafer etching scene of the best performance coating, can significantly improve the process of temperature and impurity control, Preparation of high quality silicon carbide wafers and related epitaxial bolachas. É especialmente adequado para o cultivo de cristal único GaN ou ALN em equipamentos MOCVD e cristal único SiC em equipamentos de PVT, e a qualidade do cultivo de cristal único é obviamente melhorado.