Revestimento de carboneto de silício

A VeTek Semiconductor é especializada na produção de produtos de revestimento de carboneto de silício ultrapuros. Esses revestimentos são projetados para serem aplicados em grafite purificado, cerâmica e componentes de metal refratário.

Nossos revestimentos de alta pureza são direcionados principalmente para uso nas indústrias de semicondutores e eletrônicos. Eles servem como uma camada protetora para transportadores de wafers, susceptores e elementos de aquecimento, protegendo-os de ambientes corrosivos e reativos encontrados em processos como MOCVD e EPI. Esses processos são essenciais para o processamento de wafers e fabricação de dispositivos. Além disso, nossos revestimentos são adequados para aplicações em fornos a vácuo e aquecimento de amostras, onde são encontrados ambientes de alto vácuo, reativos e de oxigênio.

Na VeTek Semiconductor, oferecemos uma solução abrangente com nossos recursos avançados de oficina mecânica. Isso nos permite fabricar os componentes básicos usando grafite, cerâmica ou metais refratários e aplicar os revestimentos cerâmicos SiC ou TaC internamente. Também fornecemos serviços de revestimento para peças fornecidas pelo cliente, garantindo flexibilidade para atender diversas necessidades.

Nossos produtos de revestimento de carboneto de silício são amplamente utilizados em epitaxia de Si, epitaxia de SiC, sistema MOCVD, processo RTP/RTA, processo de gravação, processo de gravação ICP/PSS, processo de vários tipos de LED, incluindo LED azul e verde, LED UV e UV profundo LED etc., que é adaptado a equipamentos LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI e assim por diante.

Peças do reator que podemos fazer:

Revestimento de carboneto de silício com várias vantagens exclusivas:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

Parâmetro de revestimento de carboneto de silício semicondutor VeTek

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade	Valor típico
Estrutura Cristalina	FCC fase β policristalina, orientada principalmente (111)
Densidade do revestimento SiC	3,21g/cm³
Revestimento SiCDureza	Dureza Vickers 2500 (carga de 500g)
Tamanho do grão	2~10μm
Pureza Química	99,99995%
Capacidade de calor	640 J·kg^-1·K^-1
Temperatura de Sublimação	2700°C
Resistência Flexural	415 MPa RT de 4 pontos
Módulo de Young	Curvatura de 430 Gpa 4pt, 1300℃
Condutividade Térmica	300W·m^-1·K^-1
Expansão Térmica (CTE)	4,5×10-6K^-1

ESTRUTURA DE CRISTAL DO FILME CVD SIC

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE

Susceptor Epi revestido com carboneto de silício Transportador de wafer de revestimento SiC Cobertura de satélite revestida com SiC para MOCVD Susceptor de Epi Wafer de revestimento CVD SiC Elemento de aquecimento de revestimento CVD SiC Porta-wafers Satélite Aixtron Receptor Epi de revestimento SiC Peças de grafite meia-lua com revestimento SiC

View as

Wafer epitaxial do MOCVD fornece

O vetek semicondutor está envolvido na indústria de crescimento epitaxial de semicondutores há muito tempo e possui ricas habilidades de experiência e processo em produtos suscetidos por wafer epitaxial de MOCVD. Hoje, o vetek semicondutor se tornou o principal fabricante e fornecedor de susceptores de wafer epitaxial da China, e os suscetores de wafer que ela oferece desempenharam um papel importante na fabricação de bolachas epitaxiais de GaN e outros produtos.

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Anel com revestimento de forno vertical

O anel revestido do forno vertical é um componente especialmente projetado para o forno vertical. O vetek semicondutor pode fazer o melhor para você em termos de materiais e processos de fabricação. Como fabricante líder e fornecedor do anel revestido de forno vertical na China, o Vetek Semiconductor está confiante de que podemos fornecer os melhores produtos e serviços.

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Gan Epitaxial Undertaker

Como fornecedor e fabricante de susceptores epitaxiais da GaN na China, o Susceptor epitaxial do semicondutor vetek é um suscettor de alta precisão projetado para o processo de crescimento epitaxial de GaN, usado para suportar equipamentos epitaxiais, como CVD e MOCVD. Na fabricação de dispositivos GaN (como dispositivos eletrônicos de potência, dispositivos de RF, LEDs etc.), o susceptador epitaxial de GaN carrega o substrato e atinge a deposição de alta qualidade de filmes finos de GaN em ambiente de alta temperatura. Dê boas -vindas à sua pergunta adicional.

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Transportadora de bolacha revestida com sic

Como fornecedor e fabricante líder de transportadores de wafer revestidos com SiC na China, o transportador de wafer revestido com SiC da VeTek Semiconductor é feito de grafite de alta qualidade e revestimento CVD SiC, que tem superestabilidade e pode funcionar por um longo tempo na maioria dos reatores epitaxiais. A VeTek Semiconductor possui recursos de processamento líderes do setor e pode atender a vários requisitos personalizados dos clientes para transportadores de wafer revestidos de SiC. A VeTek Semiconductor espera estabelecer um relacionamento cooperativo de longo prazo com você e crescer juntos.

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Aquecedor MOCVD de grafite de revestimento SiC

O vetek semicondutor produz o aquecedor de grafite de grafite SiC, que é um componente essencial do processo MOCVD. Com base em um substrato de grafite de alta pureza, a superfície é revestida com um revestimento SiC de alta pureza para fornecer excelente estabilidade de alta temperatura e resistência à corrosão. Com serviços de produtos de alta qualidade e produtos altamente personalizados, o aquecedor de grafite MOCVD do vetek semicondutor é a opção ideal para garantir a estabilidade do processo MOCVD e a qualidade de deposição de filmes finos. O vetek semicondutor espera se tornar seu parceiro.

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Epi Susceptor Revestido com Carboneto de Silício

VeTek Semiconductor é um fabricante e fornecedor líder de produtos de revestimento de SiC na China. O susceptor Epi revestido com carboneto de silício da VeTek Semiconductor tem o nível de qualidade superior do setor, é adequado para vários estilos de fornos de crescimento epitaxial e fornece serviços de produtos altamente personalizados. A VeTek Semiconductor espera se tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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Como fabricante e fornecedor profissional Revestimento de carboneto de silício na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas da sua região ou deseja comprar uma mensagem avançada e durável Revestimento de carboneto de silício na China, você pode nos deixar uma mensagem.

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