Revestimento de carboneto de silício

Susceptador de wafer revestido com CVD SiC da VetekSemicon é uma solução de ponta para processos epitaxiais de semicondutores, oferecendo pureza ultra-alta (≤100ppb, ICP-E10 certificada) e estabilidade térmica/química excepcional para o crescimento de contaminação. Projetado com tecnologia CVD de precisão, suporta bolachas de 6 ”/8”/12 ”, garante tensão térmica mínima e suporta temperaturas extremas até 1600 ° C.

Nosso susceptador planetário revestido com SiC é um componente central no processo de alta temperatura da fabricação de semicondutores. Seu projeto combina substrato de grafite com revestimento de carboneto de silício para obter otimização abrangente do desempenho do gerenciamento térmico, estabilidade química e resistência mecânica.

Nosso anel de vedação revestido com SiC para epitaxia é um componente de vedação de alto desempenho baseado em compósitos de grafite ou carbono carbono revestido com carboneto de silício de alta pureza (SIC) por deposição de vapor químico (CVD), que combina a estabilidade térmica do grafite com a resistência ambiental extrema de sic, e é projetada para o semestrutor semxtutor.

O susceptador de grafite EPI de wafer único veteksemicon foi projetado para carboneto de silício de alto desempenho (sic), nitreto de gálio (GaN) e outras de terceira geração do processo epitaxial de semicondutor e é o componente de rolamento de núcleo da folha de epitaxial de alta precisão na produção de massa.

Um componente importante usado no processo de gravura de fabricação de bolacha é o anel de foco de gravação plasmático, cuja função é manter a bolacha no local para manter a densidade do plasma e impedir a contaminação dos lados da bolacha. O semicondutor de vetek fornece o ringue de foco em plasma com material corbido e silicão de silício, carbido de silício.

O vetek semicondutor é um fabricante líder e fornecedor de e-chucks revestidos com SiC na China. O e-chuck revestido do SIC é especialmente projetado para o processo de gravura de Wafer Gan, com excelente desempenho e vida útil longa, para fornecer suporte geral à sua fabricação de semicondutores. Nossa forte capacidade de processamento nos permite fornecer a você o suscetador de cerâmica SIC que você deseja. Ansioso por sua pergunta.