Anel de foco SiC sólido

6.Principais campos de aplicação

7. Vantagens do núcleo do anel de foco SiC sólido Veteksem

Excelente resistência à corrosão por plasma

Sob exposição prolongada a plasmas altamente corrosivos e de alta densidade, como CF4, O2 e Cl2, os materiais convencionais são suscetíveis ao desgaste rápido e à contaminação por partículas. Nosso anel de foco sólido de SiC apresenta excelente resistência à corrosão, com uma taxa de corrosão muito inferior à de materiais como quartzo ou alumina. Isso significa que ele mantém uma superfície lisa ao longo do tempo, reduzindo significativamente o risco de defeitos do wafer causados ​​pelo desgaste dos componentes, garantindo uma produção em massa contínua e estável.

Excelente estabilidade em altas temperaturas e desempenho de gerenciamento térmico

O processo de gravação de semicondutores gera calor significativo, fazendo com que os componentes da câmara sofram flutuações drásticas de temperatura. Nossos anéis de foco possuem um coeficiente de expansão térmica extremamente baixo, capaz de suportar temperaturas transitórias de até 1600°C sem rachaduras ou deformações. Além disso, sua alta condutividade térmica inerente ajuda a dispersar o calor de maneira uniforme e rápida, melhorando efetivamente a distribuição de temperatura na borda do wafer, melhorando assimgravando uniformidade e consistência de dimensões críticas em todo o wafer.

Pureza de material extraordinária e densidade estrutural

Controlamos rigorosamente a pureza das matérias-primas de carboneto de silício (≥99,999%) e eliminamos a contaminação metálica durante o processo de sinterização para atender aos rigorosos requisitos de processos de fabricação avançados para controle de vestígios de impurezas. A estrutura densa formada através da sinterização em alta temperatura possui porosidade extremamente baixa, bloqueando quase completamente a penetração de gases e subprodutos do processo. Isto evita a degradação do desempenho e o crescimento de partículas causadas pela degradação interna do material, garantindo um ambiente puro na câmara de processo.

Vida mecânica duradoura e custo-benefício abrangente

Em comparação com os consumíveis convencionais que requerem substituição frequente, os anéis de foco sólidos de SiC Veteksemi oferecem durabilidade excepcional. Mantêm um desempenho estável durante toda a sua vida útil, prolongando várias vezes os ciclos de substituição. Isto não apenas reduz diretamente os custos de aquisição de peças de reposição, mas também melhora significativamente a utilização da máquina, reduzindo o tempo de inatividade do equipamento para manutenção, resultando em vantagens significativas de custo geral para os clientes.

Controle preciso de tamanho e serviços de personalização flexíveis

Compreendemos os requisitos precisos de diferentes máquinas e processos para consumíveis. Cada anel de foco passa por usinagem de precisão e testes rigorosos para garantir tolerâncias dimensionais críticas dentro de ±0,05 mm. Também oferecemos serviços personalizados, incluindo tamanhos personalizados, acabamentos de superfície (polimento para Ra ≤ 0,2μm) e ajustes de condutividade para atender perfeitamente aos seus requisitos de processo e cenários de aplicação específicos.

Para especificações técnicas detalhadas, white papers ou arranjos de testes de amostra, entre em contato com nossa equipe de suporte técnico para explorar como a Veteksemi pode melhorar a eficiência do seu processo.