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Processo de deposição de vapor químico anel de borda SiC sólida

Processo de deposição de vapor químico anel de borda SiC sólida

O vetek semicondutor sempre foi comprometido com a pesquisa e desenvolvimento e fabricação de materiais avançados de semicondutores. Hoje, o vetek semicondutor fez um grande progresso no processo de deposição de vapor químico produtos SiC Edge Ring Products e é capaz de fornecer aos clientes anéis de borda SIC sólidos altamente personalizados. Os anéis de borda SiC sólidos fornecem melhor uniformidade de gravação e posicionamento preciso da bolas quando usado com um mandril eletrostático, garantindo resultados de gravação consistentes e confiáveis. Ansioso por sua consulta e se tornará parceiros de longo prazo um do outro.

VProcesso de deposição de vapor químico de semicondutores ETEK O anel de borda SiC sólido é uma solução de ponta projetada especificamente para processos de gravação a seco, oferecendo desempenho e confiabilidade superiores. Gostaríamos de fornecer a você um anel de borda SiC sólida de deposição química de alta qualidade.

Aplicativo:

O anel de borda SiC sólido de deposição de vapor químico é utilizado em aplicações de gravação a seco para aprimorar o controle do processo e otimizar os resultados da gravura. Ele desempenha um papel crucial na direção e confinamento da energia plasmática durante o processo de gravação, garantindo a remoção precisa e uniforme do material. Nosso anel de foco é compatível com uma ampla gama de sistemas de gravação seco e é adequado para vários processos de gravação entre as indústrias.


Comparação de material:


CVD Processo anel de borda SiC sólido:


● Material: O anel de foco é fabricado a partir do Solid Sic, um material cerâmico de alta pureza e de alto desempenho. É preparado por deposição de vapor químico. O material SiC sólido fornece durabilidade excepcional, resistência de alta temperatura e excelentes propriedades mecânicas.

●  Vantagens: O anel CVD SiC oferece excelente estabilidade térmica, mantendo sua integridade estrutural, mesmo sob condições de alta temperatura encontradas em processos de gravação a seco. Sua alta dureza garante resistência ao estresse e desgaste mecânicos, levando à vida útil prolongada do serviço. Além disso, o sólido SiC exibe inércia química, protegendo -o da corrosão e mantendo seu desempenho ao longo do tempo.

Chemical Vapor Deposition Process

CVD SIC Coating:


●  Material: O revestimento CVD SiC é uma deposição de filme fino de SiC usando técnicas de deposição de vapor químico (CVD). O revestimento é aplicado em um material de substrato, como grafite ou silício, para fornecer propriedades SIC à superfície.

●  Comparação: Embora os revestimentos CVD SIC ofereçam algumas vantagens, como deposição conforme em formas complexas e propriedades de filme ajustáveis, elas podem não corresponder à robustez e desempenho do SOLL SIC. A espessura do revestimento, a estrutura cristalina e a rugosidade da superfície podem variar com base nos parâmetros do processo CVD, impactando potencialmente a durabilidade do revestimento e o desempenho geral.


Em resumo, o anel de foco do Solid SiC semicondutor vetek é uma escolha excepcional para aplicações de gravação a seco. Seu material SiC sólido garante resistência de alta temperatura, excelente dureza e inércia química, tornando-a uma solução confiável e duradoura. Enquanto o revestimento CVD SiC oferece flexibilidade na deposição, o anel CVD SiC se destaca em fornecer durabilidade e desempenho incomparáveis ​​necessários para exigir processos de gravação a seco.


Propriedades físicas do SOLL SIC


Propriedades físicas do SOLL SIC
Densidade 3.21 g/cm3
Resistividade de eletricidade 102 Ω/cm
Força de flexão 590 MPA (6000kgf/cm2)
Módulo de Young 450 GPA (6000kgf/mm2)
Vickers dureza 26 GPA (2650kgf/mm2)
C.T.E. (RT-1000 ℃) 4.0 X10-6/K
Condutividade térmica (RT) 250 W/mk


VETEK SEMICONDUCOR CVD Processo Solid SiC Edge Ring Production Shop

CVD Process Solid SiC Ring Production Shop


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