SIC SHOW Head

O vetek semicondutor fornece um chuveiro sic avançado para a indústria de semicondutores. Os materiais de carboneto de silício têm uma combinação única de excelentes propriedades térmicas, elétricas e químicas, tornando-os ideais para aplicações na indústria de semicondutores, onde são necessários materiais de alto desempenho. O vetek semicondutor tem uma experiência acumulada há muito tempo na tecnologia SiC sólida CVD. A tecnologia revolucionária do Vetek Semiconductor permite a produção de SiC Shower Head, um material de carboneto de silício de pureza ultra-alta criado através do processo de deposição de vapor químico.

A cabeça do chuveiro SIC é um componente crucial na fabricação de semicondutores, projetada especificamente para sistemas MOCVD, epitaxia de silício eSicProcessos de epitaxia. Feito de robustocarboneto de silício sólido (sic), esse componente pode suportar as condições extremas de processamento de plasma e aplicações de alta temperatura.

Carboneto de silício (sic)é conhecido por sua alta condutividade térmica, resistência a corrosão química e resistência mecânica excepcional, tornando -o um material ideal para componentes a granel como a cabeça do chuveiro da SIC. A cabeça do chuveiro a gás garante a distribuição uniforme dos gases de processo sobre a superfície da wafer, essencial para a produção de camadas epitaxiais de alta qualidade. Anéis de foco e anéis de borda, geralmente feitos de CVD-SIC, mantêm a distribuição plasmática uniforme e protege a câmara da contaminação, aumentando a eficiência e o rendimento do crescimento epitaxial.

Com seu controle preciso do fluxo de gás e propriedades excelentes de materiais, o SiC Chuvent Head é um componente essencial no processamento moderno de semicondutores, apoiando aplicações avançadas na epitaxia de silício e epitaxia do SIC.

O vetek semicondutor oferece um chuveiro semicondutor de carboneto de silício de baixa resistividade. Temos a capacidade de engenheiro e fornecimento personalizadosMateriais cerâmicos avançadosutilizando uma variedade de recursos únicos.