Solid SiC Gas Chuser Head

Solid SiC Gas Chuser Head

O vetek semicondutor é uma empresa integrada dedicada à pesquisa, produção e vendas. O vetek semicondutor trabalha na epitaxia de semicondutores, gravura e outros produtos relacionados ao processo há muitos anos, especialmente o revestimento CVD SiC, o revestimento TAC CVD e o CVD Solid SiC são nossos principais produtos.

O chuveiro de gás SiC sólido VeTek Semiconductor é comumente usado para distribuir uniformemente gases precursores na superfície do substrato durante processos CVD de semicondutores. O uso de material CVD-SiC para chuveiros oferece várias vantagens. Sua alta condutividade térmica auxilia na dissipação do calor gerado no processo CVD, garantindo distribuição uniforme de temperatura no substrato. Além disso, a estabilidade química do chuveiro CVD sic permite que ele resista a gases corrosivos e ambientes agressivos comumente encontrados em processos CVD. 

O design dos chuveiros CVD SiC pode ser adaptado a sistemas CVD específicos e requisitos de processo. No entanto, eles normalmente consistem em uma placa ou componente em forma de disco com uma série de furos ou ranhuras perfurados com precisão. O padrão e a geometria do furo são cuidadosamente projetados para garantir distribuição uniforme de gás e velocidade de fluxo sobre a superfície do substrato.

Propriedades físicas do SOLL SIC