Como o revestimento TaC melhora a vida útil dos componentes de grafite? - Semicondutor VeTek

Revestimento de carboneto de tântalo CVDé produzido pela deposição de vapor de carboneto de tântalo (TAC) na superfície do substrato de grafite de alta pureza usando o processo de deposição de vapor químico (CVD) do vetek semicondutor.

Os revestimentos de carboneto de tântalo (TaC) melhoram significativamente a vida útil dospeças de grafiteatravés de múltiplos mecanismos, especialmente em ambientes de alta temperatura e altamente corrosivos, como fabricação de semicondutores e crescimento de cristais. 

Aqui estão as razões específicas pelas quaisRevestimentos TaCaumentar a durabilidade das peças de grafite:

● Melhor resistência à alta temperatura

Estabilidade térmica extremamente alta: os revestimentos TAC são capazes de permanecer estáveis ​​a temperaturas extremamente altas, excedendo 2000 ° C e podem até funcionar efetivamente a 2200 ° C. Essa tolerância a alta temperatura permite que o revestimento suporta a erosão de metais fundidos e gases químicos durante a fabricação de semicondutores, prolongando assim a vida útil das peças de grafite.

● Excelente resistência à corrosão

Resistência à erosão química: Os revestimentos TaC têm forte resistência a gases corrosivos como hidrogênio, amônia e vapor de silício, o que pode efetivamente impedir que esses gases corroam o substrato de grafite e reduzir o risco de danos às peças de grafite em ambientes agressivos. Isto significa que durante o processo de crescimento do cristal, o revestimento pode inibir a migração de impurezas e melhorar a qualidade e o rendimento do cristal.

●  Propriedades mecânicas aprimoradas

Boa adesão e resistência ao choque térmico: Os revestimentos TaC têm forte adesão ao substrato de grafite, garantindo que o revestimento não descasque ou deslamine durante operações em alta temperatura. Além disso, sua excelente resistência ao choque térmico pode suportar rápidas mudanças de temperatura sem rachar ou descascar, prolongando ainda mais a vida útil das peças de grafite.

●  Reduzir a contaminação por impurezas

Pureza ultra-alta: Os revestimentos TAC têm conteúdo de impureza extremamente baixo, o que ajuda a reduzir os problemas de contaminação que podem ocorrer sob condições de alta temperatura. Ao impedir que impurezas indesejadas migram para a camada epitaxial, os revestimentos TAC melhoram significativamente a pureza e a qualidade do processo de crescimento de cristais.

● Otimize o gerenciamento térmico

Melhorar a condutividade térmica e a resistividade: os revestimentos TAC têm condutividade e resistividade térmica relativamente baixa, o que permite sua aplicação em aquecedores e outros componentes de gerenciamento térmico para melhorar a eficiência energética e reduzir a perda de energia. Esse recurso não apenas melhora a eficiência operacional, mas também reduz a fadiga do material e os danos causados ​​pelo superaquecimento.