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TAC revestido Chuck
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TAC revestido Chuck

Com sua resistência à alta temperatura, inércia química e excelente desempenho, os mandíbulas revestidas com TAC do Vetek Semiconductor são projetadas para fornos semicondutores. Acreditamos que nossos produtos podem trazer a tecnologia avançada e soluções de produtos de qualidade.

O vetek semicondutor é um líder profissional Chuck Chuck revestido com TAC, tubo revestido de TAC, suporte para TAC, fabricante de bandejas de grafite revestido com TAC com alta qualidade e preço razoável. Bem -vindo ao contato conosco.

Os chucks revestidos com TAC semicondutores vetek são parte integrante dos componentes de alto desempenho na fabricação de semicondutores. Depende das seguintes características -chave:


Integridade a vácuo alta: O Chuck revestido com TAC mantém um alto nível de integridade a vácuo durante todo o ciclo de processamento, reduzindo efetivamente a desgosto e a contaminação, garantindo a pureza e a qualidade dos materiais semicondutores.

Alta temperatura e resistência química: O TAC revestido é extremamente térmico e quimicamente resistente, capaz de operar em temperaturas de até 2200 ° C e resistindo a gases corrosivos como hidrogênio, amônia e vapor de silício.

Vida útil prolongada: Devido à sua resistência superior ao desgaste e ao choque térmico, o Chuck revestido com TAC pode prolongar significativamente a vida útil do equipamento e reduzir a necessidade de manutenção.

Eficiência de produção aprimorada: Ao reduzir a contaminação e melhorar a pureza do material, o Chuck revestido com TAC ajuda a melhorar a eficiência da produção e a qualidade do produto e reduzir os custos de produção.


Além disso, o Chuck de revestimento TAC exibe excelente versatilidade e é capaz de acomodar uma ampla gama de tamanhos e geometrias de substrato semicondutores. Seu design personalizável permite que os chucks revestidos com TAC sejam perfeitamente integrados aos sistemas de forno semicondutores existentes, reduzindo significativamente o tempo de inatividade e maximizando a produtividade. Essa flexibilidade não apenas melhora a compatibilidade do equipamento, mas também garante continuidade e eficiência do processo de produção, fornecendo aos fabricantes de semicondutores soluções confiáveis ​​e eficientes.

As vantagens de desempenho e adaptabilidade dos jogadas de revestimento TAC do vetek semicondutor os tornam um componente essencial e crítico na fabricação de semicondutores.

Parâmetro do produto do mandril revestido com TAC:

Propriedades físicas do revestimento TAC
Densidade do revestimento TAC
14.3 (g/cm³)
Emissividade específica
0.3
Coeficiente de expansão térmica 6.3*10-6/K
TAC Toned Disidade (HK)
2000 HK
Resistência
1 × 10-5Ohm*cm
Estabilidade térmica
<2500 ℃
Mudanças de tamanho de grafite
-10 ~ -20um
Espessura do revestimento
≥20um valor típico (35um ± 10um)


Lojas de produção:

VeTek Semiconductor Production Shop


Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain

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