Barco de grafite para PECVD

Aplicativo: O barco de grafite Veteksemicon para PECVD é um componente central no processo de deposição química de vapor aprimorado por plasma. Ele foi projetado especificamente para depositar nitreto de silício de alta qualidade, óxido de silício e outros filmes finos em wafers de silício, semicondutores compostos e substratos de painéis de exibição. Seu desempenho determina diretamente a uniformidade do filme, a estabilidade do processo e o custo de produção.

Serviços que podem ser fornecidos: análise de cenário de aplicação do cliente, correspondência de materiais, solução de problemas técnicos.

Perfil de companhia：A Veteksemicon possui 2 laboratórios, uma equipe de especialistas com 20 anos de experiência em materiais, com P&D e capacidade de produção, teste e verificação.

Informações gerais do produto

Termos comerciais do produto

Principais campos de aplicação

Barco de grafite Veteksemicon para vantagens principais do PECVD

1. Substratos de alta pureza, controlando a poluição desde a fonte

Insistimos em usar grafite de alta pureza prensada isostaticamente com uma pureza estável de mais de 99,995% como material de base para garantir que não precipitará impurezas metálicas mesmo em um ambiente operacional contínuo de 1600°C. Este rigoroso requisito de material pode evitar diretamente a degradação do desempenho do wafer causada pela contaminação do transportador, fornecendo a garantia mais fundamental para a deposição de filmes de nitreto de silício ou óxido de silício de alta qualidade.

2. Campo térmico preciso e projeto estrutural para garantir uniformidade do processo

Através de extensa simulação de fluidos e dados de medição de processo, otimizamos o ângulo de fenda do barco, a profundidade da ranhura guia e o caminho do fluxo de gás. Esta consideração estrutural meticulosa permite a distribuição uniforme de gases reativos entre os wafers. As medições reais mostram que, em plena carga, o desvio de uniformidade da espessura do filme entre wafers no mesmo lote pode ser controlado de forma estável dentro de ± 1,5%, melhorando significativamente o rendimento do produto.

3. Soluções de revestimento personalizadas para lidar com corrosão de processos específicos

Para atender aos diferentes ambientes de gases de processo de diferentes clientes, oferecemos duas opções de revestimento maduras: carbono pirolítico e carboneto de silício. Se você depositar principalmente nitreto de silício e usar limpeza com hidrogênio, o denso revestimento pirolítico de carbono pode fornecer excelente resistência à erosão por plasma de hidrogênio. Se o seu processo envolve gases de limpeza contendo flúor, o revestimento de carboneto de silício de alta dureza é a melhor escolha. Ele pode prolongar a vida útil do barco de grafite em ambientes altamente corrosivos em mais de três vezes a dos produtos comuns não revestidos.

4. Excelente estabilidade ao choque térmico, adaptável a ciclos de temperatura frequentes

Graças à nossa fórmula exclusiva de grafite e ao design de nervuras de reforço interno, nossos barcos de grafite podem suportar os repetidos choques rápidos de resfriamento e aquecimento do processo PECVD. Em rigorosos testes de laboratório, após 500 ciclos térmicos rápidos desde a temperatura ambiente até 800°C, a taxa de retenção da resistência à flexão do barco ainda excedeu 90%, evitando eficazmente fissuras causadas por tensão térmica e garantindo a continuidade e segurança da produção.

5. Endosso de verificação da cadeia ecológica

O barco de grafite Veteksemicon para verificação da cadeia ecológica do PECVD cobre matérias-primas até a produção, passou na certificação de padrão internacional e possui uma série de tecnologias patenteadas para garantir sua confiabilidade e sustentabilidade nos campos de semicondutores e novas energias.

Para especificações técnicas detalhadas, white papers ou arranjos de testes de amostra, entre em contato com nossa equipe de suporte técnico para explorar como a Veteksemicon pode melhorar a eficiência do seu processo.