Suporte rotativo de grafite

Susceptador de wafer é uma obrigação para o processo de crescimento epitaxial. Durante o crescimento epitaxial, o substrato de wafer é colocado no suscetador. Os susceptores rotativos de grafite de alta pureza do vetek são usados ​​em equipamentos de processamento de materiais sob ambientes de alta temperatura e vácuo alto. No crescimento epitaxial do nitreto de gálio (processo MOCVD), eles desempenham um papel de apoio na rotação do substrato. Susceptador de grafite rotativo do Vetek Semiconductor tem as seguintes vantagens:

● Alta pureza: O conteúdo de impureza nos suscetores rotativos de grafite de alta pureza está abaixo de 5ppm. Esse nível de grafite de pureza pode evitar a liberação de impurezas em altas temperaturas para garantir a limpeza do processo de deposição. Portanto, nenhum revestimento é necessário para atender aos requisitos de trabalho.

Grafite de alta pureza

● Excelentes propriedades térmicas: A grafite de alta pureza tem excelente condutividade térmica e sua condutividade térmica é muito maior que outros materiais. O coeficiente de expansão térmica é pequeno e pode manter o desempenho estável ao experimentar mudanças de temperatura.

● Boas propriedades mecânicas: A grafite de alta pureza tem boa resistência e resistência ao desgaste, que podem atender aos requisitos complexos do processo CVD.

● Excelente condutividade: A condutividade é cem vezes maior que a dos minerais não metálicos gerais.

● Estabilidade química: Pode resistir à corrosão de ácidos, álcalis e solventes orgânicos

Além disso, como fabricante líder e fornecedor de susceptador rotativo de grafite de alta pureza na China, o vetek semicondutor também fornece alta qualidadeSusceptador de grafite revestido com SIC para MOCVD, Susceptador de barril revestido com sic, Suporte de grafite revestido com TACeSusceptador de revestimento sic siC do MOCVD.O vetek semicondutor está comprometido em fornecer soluções avançadas de tecnologia e produto para a indústria de semicondutores e também suporta serviços personalizados. Sinceramente, esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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