Transportadora de bolacha de revestimento sic

O vetek semicondutor é especializado em fabricação e fornecimento de portadores de bolacha de revestimento SiC de alto desempenho e está comprometido em fornecer soluções avançadas de tecnologia e produto para a indústria de semicondutores.

Na fabricação de semicondutores, o transportador de wafer de revestimento SiC de vetek semicondutor é um componente essencial no equipamento de deposição de vapor químico (CVD), especialmente em equipamentos de deposição de vapor químico orgânico (MOCVD) metal. Sua principal tarefa é apoiar e aquecer o substrato de cristal único para que a camada epitaxial possa crescer uniformemente. Isso é essencial para a fabricação de dispositivos semicondutores de alta qualidade.

A resistência à corrosão do revestimento SiC é muito boa, o que pode proteger efetivamente a base de grafite dos gases corrosivos. Isso é especialmente importante em altas temperaturas e ambientes corrosivos. Além disso, a condutividade térmica do material SiC também é muito excelente, o que pode conduzir uniformemente o calor e garantir a distribuição uniforme da temperatura, melhorando assim a qualidade de crescimento dos materiais epitaxiais.

O revestimento SiC mantém a estabilidade química em alta temperatura e atmosfera corrosiva, evitando o problema da falha do revestimento. Mais importante, o coeficiente de expansão térmica do SiC é semelhante ao da grafite, o que pode evitar o problema do derramamento de revestimento devido à expansão e contração térmica e garantir a estabilidade e a confiabilidade a longo prazo do revestimento.

Propriedades físicas básicas deTransportadora de bolacha de revestimento sic:

Loja de produção:

Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores: