Transportador de wafer de revestimento SiC

A Vetek Semiconductor é especializada na fabricação e fornecimento de transportadores de wafer com revestimento de SiC de alto desempenho e está comprometida em fornecer tecnologia avançada e soluções de produtos para a indústria de semicondutores.

Na fabricação de semicondutores, o transportador de wafer de revestimento SiC da Vetek Semiconductor é um componente chave em equipamentos de deposição química de vapor (CVD), especialmente em equipamentos de deposição química de vapor orgânico metálico (MOCVD). Sua principal tarefa é apoiar e aquecer o substrato monocristalino para que a camada epitaxial possa crescer uniformemente. Isto é essencial para a fabricação de dispositivos semicondutores de alta qualidade.

A resistência à corrosão do revestimento SiC é muito boa, o que pode proteger eficazmente a base de grafite de gases corrosivos. Isto é especialmente importante em ambientes corrosivos e de alta temperatura. Além disso, a condutividade térmica do material SiC também é excelente, o que pode conduzir uniformemente o calor e garantir uma distribuição uniforme da temperatura, melhorando assim a qualidade de crescimento dos materiais epitaxiais.

O revestimento SiC mantém a estabilidade química em altas temperaturas e atmosferas corrosivas, evitando o problema de falha do revestimento. Mais importante ainda, o coeficiente de expansão térmica do SiC é semelhante ao da grafite, o que pode evitar o problema de derramamento do revestimento devido à expansão e contração térmica e garantir a estabilidade e confiabilidade a longo prazo do revestimento.

Propriedades físicas básicas deTransportador de wafer de revestimento SiC:

Oficina de produção:

Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores: