Assim, revestimento EPI receptor

Vetek Semiconductor é um fabricante profissional na China de Epi Receptor de Revestimento SiC.

O SiC de revestimento SiC Suscept de vetek semicondutor é feito de grafite e carboneto de silício. Este produto de revestimento SiC usa grafite importada, que tem desempenho mais estável e vida útil longa e é altamente elogiada por nossos clientes europeus e americanos. Ao mesmo tempo, a concentração do SiC de revestimento EPI suscepttor está abaixo de 5ppm e a uniformidade é muito boa. Após atualizações tecnológicas contínuas, o vetek semicondutor usa um novo processo para formar uma boa correspondência entre o coeficiente de expansão térmica de revestimento SiC e materiais de grafite.

O SiC Coating EPI Susceptor é usado especialmente em ambientes de alta temperatura e corrosivo em equipamentos semicondutores. O SiC Coating EPI Susceptor é comumente usado em equipamentos como Aixtron, especialmente no processo de epitaxia ultravioleta profundo (epitaxia), desempenhando um papel fundamental.

No processo de epitaxia ultravioleta profundo (DUV epitaxia), combinada com a excelente resistência à alta temperatura e resistência à corrosão do SiC, susceptador de EPI, o susceptador de revestimento SiC é geralmente instalado em torno da câmara de reação no equipamento Aixtron como transportadora durante o processo de epitaxia a partir de danificando ou contaminando o equipamento.

Este susceptor Epi com revestimento de SiC foi projetado para epitaxia ultravioleta profunda. Controlamos rigorosamente o revestimento de carboneto de silício, incorporamos tecnologia de camada tampão para reduzir problemas causados ​​por diferenças nos coeficientes de expansão térmica entre os revestimentos de grafite e carboneto de silício, prolongando assim a vida útil do produto. Atualmente, nosso produto tem recebido inúmeros elogios e é reconhecido como um dos melhores do mercado nacional.

Como líder do setor em produtos de revestimento SiC, o vetek semicondutores suporta serviços de personalização de produtos e preços satisfatórios do produto, e aguarda ansiosamente sua consulta adicional.

Dados SEM do filme CVD SIC:

Lojas de produtos de saia de revestimento VeTek Semiconductor SiC:

Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores: