Susceptador de panqueca CVD sic

É semicondutor O Suscept de panqueca CVD Sic é fabricado usando a mais recente tecnologia de deposição de vapor químico (CVD) para garantir uma excelente durabilidade e adaptabilidade extrema de temperatura. A seguir, são apresentadas suas principais propriedades físicas:

● Estabilidade térmica: A alta estabilidade térmica do CVD SiC garante desempenho estável sob condições de alta temperatura.

● Baixo coeficiente de expansão térmica: O material possui um coeficiente de expansão térmica extremamente baixo, que minimiza a deformação e a deformação causada por mudanças de temperatura.

● Resistência a corrosão química: Excelente resistência química permite manter o alto desempenho em uma variedade de ambientes severos.

Suporte preciso e transferência de calor otimizada

O SiC revestido com base no suscetador de panquecas da Veteksemi foi projetado para acomodar as bolachas de semicondutores e fornecer excelente suporte durante a deposição epitaxial. O susceptador de panquecas do SIC foi projetado usando a tecnologia avançada de simulação computacional para minimizar a deformação e a deformação sob diferentes condições de temperatura e pressão. Seu típico coeficiente de expansão térmica é de cerca de 4,0 × 10^-6/° C, o que significa que sua estabilidade dimensional é significativamente melhor que os materiais tradicionais em ambientes de alta temperatura, garantindo assim a consistência da espessura da bolacha (normalmente 200 mm a 300 mm).

Além disso, o Suscept de panqueca CVD se destaca na transferência de calor, com uma condutividade térmica de até 120 W/m · k. Essa alta condutividade térmica pode conduzir de maneira rápida e efetiva, aumentar a uniformidade da temperatura dentro do forno, garantir a distribuição uniforme de calor durante a deposição epitaxial e reduzir os defeitos de deposição causados ​​pelo calor desigual. O desempenho otimizado da transferência de calor é fundamental para melhorar a qualidade da deposição, o que pode efetivamente reduzir as flutuações do processo e melhorar o rendimento.

Através dessas otimizações de design e desempenho, o Suscept de panqueca CVD Sic SiC do Vetek Semiconductor fornece uma base sólida para a fabricação de semicondutores, garantindo confiabilidade e consistência sob condições duras de processamento e atendendo aos requisitos rigorosos da indústria moderna de semicondutores para alta precisão e qualidade.

Estrutura cristalina de filme sic cvd

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade	Valor típico
Estrutura cristalina	Policristalina da fase β da FCC, principalmente (111) orientada
Densidade	3,21 g/cm³
Dureza	2500 VICKERS DUÊNDA （500G CARRE
Tamanho de grão	2 ~ 10mm
Pureza química	99,99995%
Capacidade de calor	640 J · kg-1· K-1
Temperatura da sublimação	2700 ℃
Força de flexão	415 MPA RT 4 pontos
Módulo de Young	430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Condutividade térmica	300W · m-1· K-1
Expansão térmica (CTE)	4,5 × 10-6K-1