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Polido de CMP Plata
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Polido de CMP Plata

A pasta de polimento do CMP (pasta de polimento mecânica química) é um material de alto desempenho usado na fabricação de semicondutores e processamento de material de precisão. Sua função central é alcançar o nivelamento fino e o polimento da superfície do material sob o efeito sinérgico da corrosão química e da moagem mecânica para atender aos requisitos de qualidade e qualidade da superfície no nível nano. Ansioso por sua consulta adicional.
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Descrição do produto

A pasta de polimento CMP do VETEKSEMICON é usada principalmente como um abrasivo de polimento na pasta de polimento mecânico químico do CMP para planejar materiais semicondutores. Tem as seguintes vantagens:

● O diâmetro e o grau da associação de partículas das partículas pode ser controlado livremente;
● As partículas são monodispersas e a distribuição do tamanho das partículas é uniforme;
● O sistema de dispersão é estável;
● A escala de produção em massa é grande e a diferença entre lotes é pequena;
● Não é fácil condensar e se estabelecer.


Indicadores de desempenho para produtos da série de pureza ultra-alta

Parâmetro
 Unidade
 Indicadores de desempenho para produtos da série de pureza ultra-alta
Bispo
 Bispo2
 Bispo3
 Bispo4
 Bispo-5
 Bispo6
 Bispo7
Tamanho médio de partícula de sílica
 nm
 35 ± 5
 45 ± 5
 65 ± 5
 75 ± 5
 85 ± 5
 100 ± 5
 120 ± 5
Distribuição de tamanho de nanopartículas (PDI)
 1 <0,15
 <0,15
 <0,15
 <0,15
 <0,15
 <0,15
 <0,15
Solução pH
 1 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
 7.2-7.4
Conteúdo sólido
 % 20,5 ± 0,5
 20,5 ± 0,5
 20,5 ± 0,5
 20,5 ± 0,5
 20,5 ± 0,5
 20,5 ± 0,5
 20,5 ± 0,5
Aparência
 -
 Azul claro
 Azul
 Branco
 Off white
 Off white
 Off white
 Off white
Morfologia de partículas x
 X ： S-Ferical ； B-curvo ； P- em forma de amendoim ； t-bulbous ； C-Chain (estado agregado)
Íons estabilizadores
 Aminas orgânicas / inorgânicas
Composição de matéria -prima y
 E ： m-tmos ； e-you ； me-tamos+teos ； em-ezos+tmos
Conteúdo de impureza metálica
 ≤ 300ppb


Aplicações de produtos de polimento de polimento CMP:


● Materiais de ILD de circuito integrado CMP

● Circuito integrado Poly-Si Materiais CMP

● Materiais de wafer de cristal de cristal semicondutores CMP

● Materiais de carboneto de silício semicondutores CMP

● Circuito integrado Materiais STI CMP

● Circuito integrado Materiais de camada de metal e metal CMP


Hot Tags: Polido de CMP Plata
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