Epitaxia de Silício

Epitaxia de Silício, EPI, Epitaxia, Epitaxial refere-se ao crescimento de uma camada de cristal com a mesma direção de cristal e diferentes espessuras de cristal em um único substrato de silício cristalino. A tecnologia de crescimento epitaxial é necessária para a fabricação de componentes discretos semicondutores e circuitos integrados, porque as impurezas contidas nos semicondutores incluem o tipo N e o tipo P. Através de uma combinação de diferentes tipos, os dispositivos semicondutores exibem uma variedade de funções.

O método de crescimento de epitaxia de silício pode ser dividido em epitaxia de fase gasosa, epitaxia de fase líquida (LPE), epitaxia de fase sólida, método de crescimento de deposição de vapor químico é amplamente utilizado no mundo para atender à integridade da rede.

O equipamento epitaxial de silício típico é representado pela empresa italiana LPE, que possui tor hipnótico epitaxial panqueca, tor hipnótico tipo barril, hipnótico semicondutor, transportador de wafer e assim por diante. O diagrama esquemático da câmara de reação do hypector epitaxial em forma de barril é o seguinte. A VeTek Semiconductor pode fornecer um hy pector epitaxial de wafer em forma de barril. A qualidade do pelector HY revestido com SiC é muito madura. Qualidade equivalente a SGL; Ao mesmo tempo, a VeTek Semiconductor também pode fornecer bocal de quartzo com cavidade de reação epitaxial de silício, defletor de quartzo, redoma de vidro e outros produtos completos.

Susceptor Epitaxial Vertical para Epitaxia de Silício:

Principais produtos susceptores epitaxiais verticais da VeTek Semiconductor

Susceptor de barril de grafite revestido de SiC para EPI Susceptor de barril revestido de SiC Susceptor de barril revestido de CVD SiC Conjunto de receptores LPE SI EPI

Susceptor Epitaxial Horizontal para Epitaxia de Silício:

Principais produtos susceptores epitaxiais horizontais da Vetek Semiconductor

Bandeja epitaxial de silício monocristalino com revestimento SiC Suporte revestido de SiC para LPE PE2061S Receptor Rotativo de Grafite