Apoiador do EPI

O vetek semicondutor é um líder profissional que a China EPI realizou, o fabricante de suporte a grafite revestido com Ald Planetary e TAC. e Nosso suporte de EPI é um componente importante decrescimento epitaxialNo processo de fabricação de semicondutores. Sua principal função é apoiar e aquecer a bolacha para que uma camada epitaxial de alta qualidade possa ser cultivada uniformemente na superfície da bolacha.

Os susceptores de EPI dos semicondutores vetek geralmente são feitos de grafite de alta pureza e revestidos com uma camada de carboneto de silício (sic).Este design tem as seguintes vantagens importantes:

● Estabilidade de alta temperatura: O susceptador de EPI pode permanecer estável em um ambiente de alta temperatura, garantindo o crescimento uniforme da camada epitaxial.

● Resistência à corrosão: O revestimento SiC possui excelente resistência à corrosão e pode resistir à erosão dos gases químicos, prolongando a vida útil da bandeja.

● Condutividade térmica: A alta condutividade térmica do material SiC garante a distribuição uniforme de temperatura da bolacha durante o aquecimento, melhorando assim a qualidade da camada epitaxial.

● Coeficiente de expansão térmica correspondência: O coeficiente de expansão térmica do SiC é semelhante ao da grafite, evitando o problema do derramamento de revestimento devido à expansão e contração térmica.

Propriedades físicas básicas deCvd SiC Coating:

CVD SIC Coating Production Shop:

Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores: