Bandeja epitaxial de silício monocristalino de revestimento SiC

A bandeja epitaxial de silício monocristalino com revestimento SiC da VeTek semiconductor é especialmente projetada para crescimento epitaxial de silício monocristalino e desempenha um papel importante na aplicação industrial de epitaxia de silício monocristalino e dispositivos semicondutores relacionados.Revestimento sicNão apenas melhora significativamente a resistência à temperatura e a resistência à corrosão da bandeja, mas também garante estabilidade a longo prazo e excelente desempenho em ambientes extremos.

Vantagens do revestimento sic

● Alta condutividade térmica: O revestimento SiC melhora muito a capacidade de gerenciamento térmico da bandeja e pode dispersar com eficácia o calor gerado por dispositivos de alta potência.

●  Resistência à corrosão: O revestimento SiC tem um bom desempenho em ambientes de alta temperatura e corrosivo, garantindo vida e confiabilidade de serviço a longo prazo.

● Uniformidade da superfície: Proporciona uma superfície plana e lisa, evitando efetivamente erros de fabricação causados ​​por irregularidades superficiais e garantindo a estabilidade do crescimento epitaxial.

Segundo a pesquisa, quando o tamanho dos poros do substrato de grafite está entre 100 e 500 nm, um revestimento de gradiente SiC pode ser preparado no substrato de grafite e o revestimento SiC tem uma capacidade de antioxidação mais forte. A resistência da oxidação do revestimento SiC nessa grafite (curva triangular) é muito mais forte que a de outras especificações de grafite, adequada para o crescimento da epitaxia de silício de cristal único. Vetek semicondutor de revestimento sic monocristalino silicone epitaxial bandeja usa grafite SGL como osubstrato de grafite, que é capaz de alcançar tal desempenho.

A bandeja epitaxial de silício de vetek semicondutores usa os melhores materiais de grafite e a tecnologia de processamento de revestimento SIC mais avançado. Mais importante, não importa o que a personalização do produto precisa, podemos fazer o possível para conhecer.

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC

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