Anel de grafite revestido com carbono pirolítico (PyC)

Nas configurações de crescimento de cristal SiC PVT, as peças de grafite funcionam em temperaturas muito altas por longos períodos. O anel de grafite revestido com PyC da VeTek foi construído para esse tipo de tarefa. Uma camada pirolítica de carbono é depositada em grafite de alta pureza via CVD. Isso proporciona à peça melhor estabilidade superficial e menos partículas saindo durante a operação. Geralmente você o coloca na área do campo térmico para ajudar a gerenciar o fluxo de vapor e como o calor se espalha dentro do forno. O revestimento também retarda a sublimação do grafite quando a temperatura ultrapassa os 2.200°C, o que faz com que todo o componente dure mais.