O que é o revestimento TAC? - Vetek Semicondutor

Revestimento TAC (Tantalum Carboking Coating) é um material de revestimento de alto desempenho produzido pelo processo de deposição de vapor químico (CVD). Devido às excelentes propriedades do revestimento TAC em condições extremas, é amplamente utilizado no processo de fabricação de semicondutores, especialmente em equipamentos e componentes que requerem alta temperatura e forte ambiente corrosivo. O revestimento TAC é geralmente usado para proteger substratos (como grafite ou cerâmica) de danos por alta temperatura, gases corrosivos e desgaste mecânico.

Propriedades físicas do revestimento TAC

Recursos do produto e vantagens

● Estabilidade térmica extremamente alta:

Descrição do recurso: o revestimento TAC possui um ponto de fusão de mais de 3880 ° C e pode manter a estabilidade sem decomposição ou deformação em um ambiente de temperatura extremamente alta.

Vantagem: isso o torna um material indispensável em equipamentos de semicondutores de alta temperatura, como o revestimento TAC CVD e o susceptador revestido com TAC, especialmente para aplicações em reatores de MOCVD, como o equipamento Aixtron G5.

● Excelente resistência à corrosão:

Descrição do recurso: O TAC possui inércia química extremamente forte e pode resistir efetivamente à erosão de gases corrosivos, como cloretos e fluoretos.

Vantagens: Nos processos de semicondutores que envolvem produtos químicos altamente corrosivos, o revestimento TAC protege os componentes do equipamento contra ataques químicos, prolonga a vida útil do serviço e melhora a estabilidade do processo, especialmente na aplicação do barco a bolacha de carboneto de silício e outros componentes -chave.

● Excelente dureza mecânica:

Descrição do recurso: A dureza do revestimento TAC é de 9 a 10 MOHs, o que o torna resistente ao desgaste mecânico e ao estresse de alta temperatura.

Vantagem: a propriedade de alta dureza torna o revestimento TAC particularmente adequado para uso em ambientes de alto desgaste e alta tensão, garantindo a estabilidade e a confiabilidade de longo prazo dos equipamentos em condições adversas.

● Baixa reatividade química:

Descrição do recurso: Devido à sua inércia química, o revestimento TAC pode manter a baixa reatividade em ambientes de alta temperatura e evitar reações químicas desnecessárias com gases reativos.

Vantagem: Isso é especialmente importante no processo de fabricação de semicondutores, pois garante a pureza do ambiente de processo e a deposição de materiais de alta qualidade.

O papel do revestimento TAC no processamento de semicondutores

● Protegendo os principais componentes do equipamento:

Descrição da função: o revestimento TAC é amplamente utilizado nos principais componentes do equipamento de fabricação de semicondutores, como o suscetador revestido com TAC, que precisam trabalhar em condições extremas. Ao revestir com o TAC, esses componentes podem operar por longos períodos de tempo em ambientes de alta temperatura e corrosivo sem serem danificados.

● prolongar a vida útil do equipamento:

Descrição da função: Em equipamentos MOCVD, como o Aixtron G5, o revestimento TAC pode melhorar significativamente a durabilidade dos componentes do equipamento e reduzir a necessidade de manutenção e substituição do equipamento devido à corrosão e desgaste.

● Aumente a estabilidade do processo:

Descrição da função: Na fabricação de semicondutores, o revestimento TAC garante a uniformidade e a consistência do processo de deposição, fornecendo um ambiente estável de alta temperatura e químico. Isso é particularmente importante nos processos de crescimento epitaxial, como epitaxia de silício e nitreto de gálio (GaN).

● Melhorar a eficiência do processo:

Descrição da função: Ao otimizar o revestimento na superfície do equipamento, o revestimento TAC pode melhorar a eficiência geral do processo, reduzir a taxa de defeitos e aumentar o rendimento do produto. Isso é fundamental para a fabricação de materiais semicondutores de alta precisão e alta pureza.

A alta estabilidade térmica, excelente resistência à corrosão, dureza mecânica e baixa reatividade química exibida pelo revestimento TAC durante o processamento de semicondutores o tornam a escolha ideal para proteger os componentes dos equipamentos de fabricação de semicondutores. À medida que a demanda da indústria de semicondutores por alta temperatura, os processos de fabricação de alta pureza e eficientes continuam aumentando, o revestimento TAC possui amplas perspectivas de aplicação, especialmente em equipamentos e processos que envolvem o revestimento TAC CVD, Susceptor revestido de TAC e Aixtron G5.

A Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd é uma provedora líder de materiais avançados de revestimento para a indústria de semicondutores. Nossa empresa se concentra no desenvolvimento de soluções de ponta para a indústria.

Nossas principais ofertas de produtos incluemRevestimentos de carboneto de silício CVD (SIC), Revestimentos de carboneto de Tantalum (TAC), Materiais Sic Sic, Sic, Sic Powders e SiC de alta pureza, susceptores de grafite revestidos com SiC, anéis de pré-aquecimento, anel de desvio revestido de TAC, peças de meia-lua, etc., a pureza está abaixo de 5ppm, pode atender aos requisitos do cliente.

O vetek semicondutor se concentra no desenvolvimento de soluções de tecnologia de ponta e desenvolvimento de produtos para a indústria de semicondutores.Esperamos sinceramente se tornar seu parceiro de longo prazo na China.