Cabeça de chuveiro em forma de disco SiC

O papel da cabeça de chuveiro em forma de disco sólido no processo de CVD é distribuir uniformemente o gás de reação acima da área de deposição para que o gás possa ser difundido uniformemente em todo o reator para obter um filme plano e uniforme.

A cabeça de chuveiro SiC sólida fica na parte superior do forno CVD ou perto da entrada de gás. O gás de reação entra na estrutura em forma de disco através dos orifícios distribuídos na cabeça do chuveiro e se difunde ao longo da superfície da cabeça do chuveiro. Através do design de múltiplos canais e das tomadas distribuídas uniformemente, o gás de reação pode fluir uniformemente para toda a área do reator, evitando concentração ou turbulência e garantindo a consistência da espessura da camada depositada no substrato.

Ao mesmo tempo, a estrutura da cabeça do chuveiro de forma de semicondutores também tem um efeito de difusão, que pode reduzir efetivamente a taxa de fluxo do gás, para que ele possa ser difundido uniformemente na saída do bico e reduzir o impacto das mudanças locais de fluxo de gás no efeito de deposição. Ajuda a evitar o impacto direto do gás no substrato e impedir o problema da deposição desigual.

Do ponto de vista dos materiais, a cabeça de chuveiro de gás SiC sólida é feita de material SiC sólido resistente a alta temperatura, resistente à corrosão e de alta resistência com estabilidade muito alta. Pode funcionar de forma estável por um longo tempo no forno CVD e tem uma longa vida útil de serviço.

O vetek semicondutor fornece serviços personalizados de alta qualidade. O layout de forma e orifício da cabeça de chuveiro em forma de disco SiC sólido pode ser ajustado com flexibilidade de acordo com os requisitos de processo do cliente para se adaptar a diferentes tipos de gás, taxas de fluxo e materiais de deposição. Para diferentes tamanhos de reatores ou tamanhos de substrato, os chuveiros em forma de disco com diferentes diâmetros e distribuições de orifícios podem ser personalizados para otimizar o efeito de distribuição de gás.

O vetek semicondutor possui processos maduros e tecnologias avançadas para produtos sólidos de chuveiro de semicondutores sic sic, ajudando um grande número de clientes a alcançar um progresso contínuo nos processos de DCV. O vetek semicondutor espera se tornar seu parceiro de longo prazo na China.

Propriedades físicas do SOLL SIC

É semicondutorLojas de produção de chuveiro em forma de disco sólido