aquecedor de revestimento de cerâmica de carboneto de silício

É semicondutorO aquecedor de revestimento de cerâmica de carboneto de silício é um aquecedor projetado para alta temperatura e ambientes severos. Ele reveste uma camada de revestimento de cerâmica de carbono de silício (SIC) na superfície do elemento de aquecimento para dar ao equipamento excelente resistência ao calor, resistência à corrosão e condutividade térmica. 

Aquecedor de revestimento de cerâmica de carboneto de silícioé usado principalmente em equipamentos de revestimento a vácuo (evaporação). Os métodos comumente usados ​​são PCD (secagem química plasmática) e PVD (deposição física de vapor), que são amplamente utilizados na fabricação de semicondutores e outras aplicações industriais de alta demanda.

Combinado com o projeto de revestimento de alto desempenho do aquecedor de revestimento de cerâmica de carboneto de silício,Pode fornecer uma excelente solução de aquecimento para processos de alta temperatura.

Excelente condutividade térmica: O material SiC possui excelente condutividade térmica, garantindo que o aquecedor possa obter distribuição uniforme de calor na área de trabalho e reduzir os gradientes de temperatura.

Fornecer distribuição uniforme de calor: O aquecedor de revestimento de cerâmica de carboneto de silício usa a alta condutividade térmica do material SiC para obter uma distribuição uniforme de temperatura em toda a área de aquecimento. Isso é fundamental para garantir o tratamento térmico uniforme das bolachas semicondutoras em vários processos de alta temperatura, como processamento térmico rápido (RTP), difusão e oxidação, evitando defeitos do produto causados ​​pelo superaquecimento local ou temperatura desigual.

Tolerância a alta temperatura: O revestimento SiC permite que o aquecedor suporta temperaturas extremamente altas, normalmente até 1600 ° C, adequadas para vários processos de processamento de alta temperatura.

Melhorar a resistência ao calor: Como o revestimento pode suportar temperaturas extremamente altas, ele tem um bom desempenho em processos que requerem operação de alta temperatura a longo prazo. Por exemplo, nos processos de deposição de vapor químico (CVD), o aquecedor de revestimento de cerâmica de carboneto de silício pode garantir uma operação estável a longo prazo do equipamento em altas temperaturas e manter o desempenho consistente do aquecimento, melhorando assim a repetibilidade e a confiabilidade do processo.

Resistência a corrosão química: O revestimento SiC tem resistência extremamente alta ao ácido, álcalis e gases corrosivos e pode permanecer estável por um longo tempo em um ambiente complexo de atmosfera química, prolongando a vida útil do equipamento. 

Prolongando a vida útil do equipamento: O revestimento SiC possui excelente resistência à oxidação e resistência à corrosão e pode resistir efetivamente à erosão e oxidação química a altas temperaturas. Isso é muito crítico no processo de fabricação de semicondutores, especialmente em um ambiente que lida com gases e produtos químicos corrosivos. O efeito protetor do revestimento pode prolongar significativamente a vida útil do aquecedor e reduzir a frequência dos custos de substituição e manutenção do equipamento.

Propriedades físicas básicas do aquecedor de revestimento de cerâmica de carboneto de silício:

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