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Nossas placas porosas de cerâmica SiC são materiais de cerâmica porosa feitos de carboneto de silício como componente principal e processados ​​por processos especiais. São materiais indispensáveis ​​na fabricação de semicondutores, deposição de vapor químico (DCV) e outros processos.

Nosso anel de vedação revestido com SiC para epitaxia é um componente de vedação de alto desempenho baseado em compósitos de grafite ou carbono carbono revestido com carboneto de silício de alta pureza (SIC) por deposição de vapor químico (CVD), que combina a estabilidade térmica do grafite com a resistência ambiental extrema de sic, e é projetada para o semestrutor semxtutor.

Nosso barco de quartzo de alta pureza é feito de quartzo fundido (conteúdo de SiO₂ ≥ 99,99%). Com sua excelente resistência a ambientes extremos, baixo coeficiente de expansão térmica e ciclo de vida longo, tornou -se uma chave insubstituível consumível nas indústrias de semicondutores e novas energia.

O anel de foco para a gravação é o componente principal para garantir a precisão e a estabilidade do processo. Esses componentes são montados com precisão em uma câmara de vácuo para obter usinagem uniforme de estruturas em nanoescala na superfície da wafer através do controle preciso da distribuição plasmática, temperatura da borda e uniformidade do campo elétrico.

O susceptador de grafite EPI de wafer único veteksemicon foi projetado para carboneto de silício de alto desempenho (sic), nitreto de gálio (GaN) e outras de terceira geração do processo epitaxial de semicondutor e é o componente de rolamento de núcleo da folha de epitaxial de alta precisão na produção de massa.

A Veteksemicon é um fabricante líder de vácuo em Chuck na China, nosso vácuo de cerâmica Chuck serve como um dispositivo de adsorção de vácuo de ponta, orientado para adsorver com precisão e imobilizar bolachas e lingotes. Bem -vindo sua pergunta.