Wafers Piezoelétricos PZT (PZT em Si/SOI)

1. Arquitetura Técnica

Nossos wafers apresentam uma sofisticada estrutura de pilha multicamadas projetada para garantir adesão, condutividade e resposta piezoelétrica ideais durante o processamento complexo de MEMS:

 ●Eletrodo Superior (Camada Chave): Pt (Platina).

● Camada Piezo (Camada Central): PZT.

● Camadas Intermediárias: Inclui camada tampão, eletrodo inferior e camada de adesão para otimizar a orientação dos grãos e a estabilidade estrutural.

● Substrato: Compatível com wafers Si ou SOI.

2. Garantia de qualidade e análise de microestrutura

Garantimos alta confiabilidade através de rigorosa caracterização técnica:

 ●Análise SEM: Imagens de microscopia eletrônica de varredura (SEM) revelam uma morfologia de superfície densa e livre de rachaduras, com distribuição uniforme de tamanho de grão, ideal para aplicações MEMS de alta confiabilidade.

 ●Caracterização XRD: Os padrões de difração de raios X (XRD) confirmam a formação da fase perovskita pura com uma orientação preferencial forte (100), garantindo coeficientes máximos de desempenho piezoelétrico.

3. Especificações Técnicas (Características)

4. Aplicativos principais

 ● Transdutores ultrassônicos microusinados piezoelétricos (pMUT): Matrizes miniaturizadas de alta frequência para sensores de impressão digital, reconhecimento de gestos e radar ultrassônico automotivo.

 ● Comunicação: Chave para fabricação de filtros FBAR ou SAW em 5G/6G para obter largura de banda mais ampla e menor perda de inserção.

 ● MEMS acústicos: Fornece resposta transitória poderosa para alto-falantes MEMS e melhora a relação sinal-ruído (SNR) para microfones MEMS.

 ● Controle preciso de fluidos: Vibração de alta velocidade via modo d31 para controle preciso em escala de nanolitros do volume de gotas em cabeçotes de impressão a jato de tinta.

 ● Medicina e Beleza (Microbombeamento): Aciona nebulizadores médicos ou bombas ultrassônicas cosméticas com alta confiabilidade e tamanho compacto.

5. Serviços de personalização

Além da deposição padrão em wafers de Si, também fornecemos serviços de deposição personalizados:

 ●Personalização de filme e espessura: Deposição de tipos de filmes específicos e espessuras personalizadas de acordo com os requisitos do projeto.

 ●Fundição OEM: Aceitação de wafers fornecidos por clientes para crescimento de filmes finos piezoelétricos de alta qualidade.

 ●Suporte para substrato SOI: Deposição especializada em wafers SOI com as seguintes especificações: