Braço de robô de carboneto de silício

O braço robótico de carboneto de silício de veteksemicon é uma solução de processamento de semicondutores de ponta projetada especificamente para ambientes industriais severos. Utilizando a tecnologia avançada de material de carboneto de silício de alta pureza, demonstra estabilidade e durabilidade excepcionais em altas temperaturas, ambientes corrosivos e condições de vácuo ultra-alto. Como um componente -chave no manuseio, gravação e deposição de wafers, nosso braço robótico melhora significativamente a produtividade e reduz os custos de manutenção.

Ⅰ. Parâmetros técnicos

Ⅱ. Veteksemicon Silicon Carbide Robot ARM CORE VANTAGENS

1. Tolerância ao meio ambiente extrema

Nosso braço de robô usa um revestimento SiC formulado exclusivamente que sofre vários processos de deposição de alta temperatura, permitindo que ele mantenha a integridade estrutural a temperaturas sustentadas de 1500 ° C e resistam efetivamente à corrosão do bombardeio plasmático e dos ambientes de ácido e alcalino fortes. Isso aborda fundamentalmente os pontos problemáticos dos materiais tradicionais que são propensos ao envelhecimento e têm uma curta vida útil sob condições de trabalho extremas.

2. Excelentes propriedades mecânicas

Ao adotar uma estrutura composta de substrato de grafite e revestimento SiC, alcançamos uma rigidez excedendo em muito a dos materiais metálicos, garantindo que o braço seja extremamente leve. Esse projeto garante que a deformação do braço do robô seja extremamente pequena durante o movimento alternativo de alta velocidade, suprimindo efetivamente o jitter, controlando firmemente a precisão do posicionamento de repetição dentro de ± 0,02 mm, garantindo a transmissão segura das bolachas de precisão.

3. Limpeza ultra-alta

Entendemos que a contaminação por partículas é o assassino número um do rendimento. Portanto, cada braço do robô passa por polimento de precisão e tratamento de superfície especializado, resultando em uma rugosidade da superfície com menos de 0,1μm. O revestimento adere firmemente, impedindo qualquer risco de descascamento. Nossos produtos são 100% testados em limpeza, atendendo totalmente aos requisitos de sala limpa ultra-alta e prontos para uso em linhas de produção de última geração.

4. Longa vida de serviço

Graças à dureza inerente ao SIC de 3000 HV e excelente resistência ao desgaste, nosso robô experimenta degradação mínima de desempenho, mesmo após dezenas de milhares de ciclos de movimento. A vida útil deles é várias vezes a dos componentes de cerâmica ou liga de alumínio comuns, reduzindo significativamente o tempo de inatividade para substituição e manutenção, fornecendo custo-efetividade geral significativo para nossos clientes.

Ⅲ. Principais campos de aplicação

A verificação ecológica da cadeia ecológica do robô de silício de veteksemicon cobre as matérias -primas para a produção, aprovou a certificação padrão internacional e possui várias tecnologias patenteadas para garantir sua confiabilidade e sustentabilidade nos campos de semicondutores e novos energia. Bem -vindo para nos consultar a qualquer momento.