Processo de Epitaxia SiC

O Susceptador planetário de revestimento TAC é um produto excepcional para o equipamento de epitaxia de Aixtron. O revestimento TAC do Vetek Semiconductor oferece excelente resistência de alta temperatura e inércia química. Essa combinação única garante desempenho confiável e vida útil longa, mesmo em ambientes exigentes. A Vetek está comprometida em fornecer produtos de alta qualidade e servir como parceiro de longo prazo no mercado chinês com preços competitivos.

O revestimento TAC pode suportar alta temperatura de 2200 ℃. O vetek semicondutor fornece revestimento TAC de alta pureza com impurezas abaixo de 5ppm na China. A placa de suporte do pedestal de revestimento TAC é capaz de suportar hidrogênio de amônia, argonina na câmara de reação do dispositivo epitaxial. Melhora a vida útil do serviço do produto. Você fornece os requisitos, fornecemos personalização.

O Chuck de revestimento TAC do Vetek Semiconductor apresenta um revestimento de alta qualidade na superfície, conhecido por sua excelente resistência de alta temperatura e inércia química, particularmente nos processos de epitaxia de carboneto de silício (SIC) (EPI). Com seus recursos excepcionais e desempenho superior, o nosso TAC Coating Chuck oferece várias vantagens importantes. Estamos comprometidos em fornecer produtos de qualidade a preços competitivos e esperamos ser seu parceiro de longo prazo na China.

O LPE SIC EPI Halfmoon é um design especial para o forno de epitaxia horizonacional, um produto revolucionário projetado para elevar os processos de epitaxia do reator de LPE. Esta solução de ponta possui vários recursos importantes que garantem desempenho e eficiência superiores ao longo de suas operações de fabricação. O semicondutor de vetek é profissional na fabricação da meia-lua de Epi em 6 polegadas e 8 polegadas.

As peças de meia-lua revestidas com revestimento CVD TaC são mais duráveis ​​do que as peças de meia-lua revestidas com SiC. VeTek Semiconductor é o principal fabricante e fornecedor na China de meia-lua revestida com carboneto de tântalo TaC, nos especializamos em P&D e produção, podemos controlar bem a qualidade e oferecer um competitivo preço. Você está convidado a visitar nossa fábrica para uma discussão mais aprofundada sobre uma cooperação de longo prazo.

VeTek Semiconductor é um fabricante líder e inovador de anel de três pétalas revestido com TaC na China. Somos especializados em revestimento TaC e SiC há muitos anos. Esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China. Bem-vindo para consultar a qualquer momento.