Cilindro de grafite cvd sic

O cilindro de grafite CVD SiC de vetek semicondutor desempenha um papel importante no equipamento semicondutor. Geralmente é usado como uma cobertura protetora dentro do reator para fornecer proteção aos componentes internos do reator em ambientes de alta temperatura e alta pressão. Essa cobertura protetora pode efetivamente isolar os produtos químicos e altas temperaturas no reator, impedindo -as de causar danos ao equipamento. Ao mesmo tempo, o cilindro de grafite CVD SiC também possui excelente resistência ao desgaste e corrosão, tornando capaz de manter a estabilidade e a durabilidade a longo prazo em ambientes de trabalho severos. Usando tampas de proteção feitas desse material, o desempenho e a confiabilidade dos dispositivos semicondutores podem ser aprimorados, prolongando a vida útil do dispositivo e reduzindo as necessidades de manutenção e o risco de danos.

O cilindro de grafite CVD SiC é amplamente utilizado em equipamentos semicondutores, cobrindo as seguintes áreas -chave:

Equipamento de tratamento térmico

Serve como uma cobertura protetora ou blindagem térmica em equipamentos de tratamento térmico. Isso não apenas protege os componentes internos de danos altas temperaturas, mas também possui excelente resistência à alta temperatura.

Reatores de deposição de vapor químico (CVD)

Nos reatores de CVD, ele atua como uma cobertura protetora para a câmara de reação química. Isola efetivamente substâncias de reação e oferece boa resistência à corrosão.

Ambientes corrosivos

Graças à sua excelente resistência à corrosão, o cilindro de grafite CVD SiC pode ser utilizado em ambientes quimicamente corrosivos durante a fabricação de semicondutores, como ambientes com gases ou líquidos corrosivos.

Equipamento de crescimento semicondutor

Funciona como capas de proteção ou outros componentes em equipamentos de crescimento semicondutores. Ao proteger o equipamento de altas temperaturas, corrosão química e desgaste, garante a estabilidade e a confiabilidade do longo prazo do equipamento.

Caracterizado por alta estabilidade de temperatura, resistência à corrosão, excelentes propriedades mecânicas e boa condutividade térmica, o cilindro de grafite CVD SiC facilita a dissipação de calor mais eficiente em dispositivos semicondutores, mantendo a estabilidade e o desempenho do dispositivo.