Baço de wafer de coluna vertical e pedestal

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A coluna vertical da Vetek Semiconductor Boat & Pedestal pode fornecer suporte confiável em temperaturas extremas e ambientes químicos severos e, portanto, é amplamente utilizado em equipamentos de processamento de semicondutores, garantindo a precisão e a estabilidade da tecnologia de processamento de semicondutores.

O papel específico do barco e pedestal de wafer de coluna vertical no processamento de semicondutores édo seguinte modo:

Fornecer suporte e posicionamento de wafer de alta precisão:

O design do barco de wafer e pedestal da coluna vertical garante que a bolacha seja apoiada com precisão e estágio na direção vertical. Através do controle preciso do espaçamento e da estrutura estável, esses componentes podem efetivamente impedir que a bolacha mude, deslize ou seja danificada durante o processamento ou transporte de alta temperatura, garantindo o posicionamento e processamento precisos da bolacha em cada link de processamento.

Otimizar o processo térmico e melhorar a consistência do processo:

Devido à excelente condutividade térmica dos materiais de quartzo e SiC, a coluna vertical Wafer Boat & Pedestal pode garantir que o calor seja transferido uniformemente para cada wafer durante processos de tratamento térmico, como difusão, oxidação e recozimento. Essa distribuição uniforme de calor melhora bastante a consistência do processo de processamento, garantindo que cada wafer possa atender aos rígidos padrões de fabricação, melhorando assim o rendimento do produto.

Resistente à corrosão química e prevenção de contaminação:

Os materiais de quartzo e SiC de alta pureza têm excelente resistência à corrosão química e podem permanecer estáveis ​​em ambientes químicos de alta temperatura sem liberar impurezas prejudiciais. Esse recurso permite que o barco de wafer de coluna vertical e o pedestal impeça efetivamente as bolachas contaminadas durante o processamento, garantindo a alta pureza e a estabilidade do desempenho do produto acabado e atendendo aos requisitos estritos da indústria de semicondutores para limpeza e pureza.

Como fabricante líder e fornecedor de materiais avançados de revestimento para a indústria de semicondutores da China, o vetek semicondutor está comprometido em fornecer aos clientesTecnologia avançada personalizada e soluções de produtos. NósSinceramente espero se tornar seu parceiro de longo prazo na China.

Propriedades físicas básicas do portador horizontal de bolacha da SIC:

VETEK SEMICONDUTOR COLUNS VERTICAL WAFER BARCO E PRODUÇÃO DE PEDESTAL As lojas de produção:

Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores: