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Epitaxia de carboneto de silício

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Cilindro de grafite cvd sic

Cilindro de grafite cvd sic

O cilindro de grafite CVD SiC do VETEK SEMICONDUCOR é fundamental em equipamentos semicondutores, servindo como uma blindagem protetora dentro dos reatores para proteger componentes internos em configurações de alta temperatura e pressão. Ele efetivamente se protege contra produtos químicos e calor extremo, preservando a integridade do equipamento. Com o desgaste excepcional e a resistência à corrosão, garante a longevidade e a estabilidade em ambientes desafiadores. A utilização dessas capas aprimora o desempenho do dispositivo semicondutor, prolonga a vida útil e mitiga os requisitos de manutenção e os riscos de danos.
Bico de revestimento CVD SiC

Bico de revestimento CVD SiC

Os bocais de revestimento CVD SiC são componentes cruciais usados ​​no processo de epitaxia LPE SIC para depositar materiais de carboneto de silício durante a fabricação de semicondutores. Esses bicos são tipicamente feitos de material de carboneto de silício de alta temperatura e quimicamente estável para garantir a estabilidade em ambientes de processamento severos. Projetados para deposição uniforme, eles desempenham um papel fundamental no controle da qualidade e uniformidade das camadas epitaxiais cultivadas em aplicações de semicondutores. Dê boas -vindas à sua pergunta adicional.
Protetor de revestimento CVD SiC

Protetor de revestimento CVD SiC

O protetor de revestimento CVD SiC do vetek semicondutor usado é o epitaxia do LPE SIC, o termo "LPE" geralmente se refere a epitaxia de baixa pressão (LPE) na deposição de vapor químico de baixa pressão (LPCVD). Na fabricação de semicondutores, o LPE é uma importante tecnologia de processo para o cultivo de filmes finos de cristal único, frequentemente usado para cultivar camadas epitaxiais de silício ou outras camadas epitaxiais de semicondutores. Não hesite em nos contatar para obter mais perguntas.
Pedestal revestido de SiC

Pedestal revestido de SiC

A Vetek Semiconductor é profissional na fabricação de revestimento CVD SiC, revestimento TaC em grafite e material de carboneto de silício. Fornecemos produtos OEM e ODM como pedestal revestido de SiC, suporte de wafer, mandril de wafer, bandeja de suporte de wafer, disco planetário e assim por diante. Com sala limpa de grau 1000 e dispositivo de purificação, podemos fornecer produtos com impureza abaixo de 5 ppm. de você em breve.
Anel de entrada de revestimento sic

Anel de entrada de revestimento sic

A Vetek Semiconductor se destaca por colaborar estreitamente com os clientes para criar projetos sob medida para o anel de entrada de revestimento de SiC, adaptados às necessidades específicas. Esses anéis de entrada de revestimento de SiC são meticulosamente projetados para diversas aplicações, como equipamentos CVD SiC e epitaxia de carboneto de silício. Para soluções personalizadas de anel de entrada de revestimento de SiC, não hesite em entrar em contato com a Vetek Semiconductor para obter assistência personalizada.
Anel de pré-aquecimento

Anel de pré-aquecimento

O anel de pré-aquecimento é usado no processo de epitaxia semicondutora para pré-aquecer wafers e tornar a temperatura dos wafers mais estável e uniforme, o que é de grande importância para o crescimento de alta qualidade das camadas de epitaxia. A Vetek Semiconductor controla rigorosamente a pureza deste produto para evitar a volatilização de impurezas em altas temperaturas.

Veteksemicon silicon carbide epitaxy is your advanced procurement option for producing high-performance 4H-SiC and 6H-SiC epitaxial layers used in wide bandgap semiconductor devices. SiC epitaxy enables the formation of defect-controlled, dopant-engineered epitaxial layers critical for high-power, high-frequency, and high-temperature electronic devices.


Our offering includes specialized components such as SiC epitaxial susceptors, SiC-coated wafer holders, and epitaxy process rings, tailored for use in horizontal and vertical MOCVD and CVD reactors, including platforms by Veeco, Aixtron, and LPE. Veteksemicon’s parts are coated with high-purity CVD SiC, ensuring chemical compatibility, temperature uniformity, and minimal contamination during epitaxial layer growth.


Silicon carbide epitaxy is essential for fabricating power MOSFETs,  IGBTs, and RF components, particularly in automotive, energy, and aerospace applications. The epitaxial process requires extremely precise control over doping concentration, layer thickness, and crystallographic orientation, which is why substrate compatibility and thermal stability of reactor parts are critical.


Relevant terms in this category include 4H-SiC epitaxial wafer, low-defect-density epitaxy, SiC epi-ready substrates, and wide bandgap semiconductors. Veteksemicon supports both research-scale and volume production needs with stable, repeatable, and thermally robust component solutions.


To learn more about our silicon carbide epitaxy support materials, visit the Veteksemicon product detail page or contact us for detailed specifications and engineering support.


Como fabricante e fornecedor profissional Epitaxia de carboneto de silício na China, temos nossa própria fábrica. Se você precisa de serviços personalizados para atender às necessidades específicas da sua região ou deseja comprar uma mensagem avançada e durável Epitaxia de carboneto de silício na China, você pode nos deixar uma mensagem.
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