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Epitaxia de carboneto de silício

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Anel de pré-aquecimento

Anel de pré-aquecimento

O anel de pré-aquecimento é usado no processo de epitaxia semicondutora para pré-aquecer wafers e tornar a temperatura dos wafers mais estável e uniforme, o que é de grande importância para o crescimento de alta qualidade das camadas de epitaxia. A Vetek Semiconductor controla rigorosamente a pureza deste produto para evitar a volatilização de impurezas em altas temperaturas.
Pino de levantamento de wafer

Pino de levantamento de wafer

VeTek Semiconductor é um fabricante líder e inovador de pinos de elevação de wafer EPI na China. Somos especializados em revestimento de SiC na superfície de grafite há muitos anos. Oferecemos um pino de levantamento de wafer EPI para processo Epi. Com alta qualidade e preço competitivo, convidamos você a visitar nossa fábrica na China.
Susceptores de MOCVD de Aixtron G5

Susceptores de MOCVD de Aixtron G5

O sistema AIXTRON G5 MOCVD consiste em material de grafite, grafite revestida de carboneto de silício, quartzo, material de feltro rígido, etc. O semicondutor vetek pode personalizar e fabricar todo o conjunto de componentes para este sistema. Ficamos especializados em peças de grafite e quartzo semicondutores por muitos anos. Este kit de susceptores de MOCVD AIXTRON G5 é uma solução versátil e eficiente para a fabricação de semicondutores, com seu tamanho ideal, compatibilidade e alta produtividade.
Suporte de grafite epitaxial Gan para G5

Suporte de grafite epitaxial Gan para G5

O vetek semicondutor é um fabricante e fornecedor profissional, dedicado ao fornecimento de susceptador de grafite epitaxial GaN de alta qualidade para o G5. Estabelecemos parcerias de longo prazo e estáveis ​​com inúmeras empresas conhecidas em casa e no exterior, ganhando a confiança e o respeito de nossos clientes.
MEILTRA LIVERidade de grafite ultra pura

MEILTRA LIVERidade de grafite ultra pura

O vetek semicondutor é um fornecedor líder de meia -lua de grafite ultra pura de grafite pura personalizada na China, especializada em materiais avançados por muitos anos. Nossa meia -lua de grafite ultra pura é projetada especificamente para equipamentos epitaxiais do SIC, garantindo excelente desempenho. Feito a partir de grafite importada ultra-pura, oferece confiabilidade e durabilidade. Visite nossa fábrica na China para explorar nossa grafite ultra pura de alta qualidade em primeira mão em primeira mão.
Parte superior de meia -lua sic revestida

Parte superior de meia -lua sic revestida

O vetek semicondutor é um fornecedor líder de parte personalizada de meia -lua superior revestida na China, especializada em materiais avançados por mais de 20 anos. A parte do semicondutor de vetek semicondutores SiC é projetada especificamente para equipamentos epitaxiais do SiC, servindo como um componente crucial na câmara de reação. Feito de grafite ultra-pura e semicondutores, garante excelente desempenho. Convidamos você a visitar nossa fábrica na China.

Veteksemicon silicon carbide epitaxy is your advanced procurement option for producing high-performance 4H-SiC and 6H-SiC epitaxial layers used in wide bandgap semiconductor devices. SiC epitaxy enables the formation of defect-controlled, dopant-engineered epitaxial layers critical for high-power, high-frequency, and high-temperature electronic devices.


Our offering includes specialized components such as SiC epitaxial susceptors, SiC-coated wafer holders, and epitaxy process rings, tailored for use in horizontal and vertical MOCVD and CVD reactors, including platforms by Veeco, Aixtron, and LPE. Veteksemicon’s parts are coated with high-purity CVD SiC, ensuring chemical compatibility, temperature uniformity, and minimal contamination during epitaxial layer growth.


Silicon carbide epitaxy is essential for fabricating power MOSFETs,  IGBTs, and RF components, particularly in automotive, energy, and aerospace applications. The epitaxial process requires extremely precise control over doping concentration, layer thickness, and crystallographic orientation, which is why substrate compatibility and thermal stability of reactor parts are critical.


Relevant terms in this category include 4H-SiC epitaxial wafer, low-defect-density epitaxy, SiC epi-ready substrates, and wide bandgap semiconductors. Veteksemicon supports both research-scale and volume production needs with stable, repeatable, and thermally robust component solutions.


To learn more about our silicon carbide epitaxy support materials, visit the Veteksemicon product detail page or contact us for detailed specifications and engineering support.


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