Barco de cerâmica de carboneto de silício

As vantagens de usar o barco wafer cerâmico de carboneto de silício Veteksemi

●  Resistência a temperaturas muito altas de 3.000 F (1.650 ℃ ）

● Resistência à super corrosão a ácidos, solventes, sais e orgânicos, resistente ao desgaste  

●  Fácil de limpar

●  Forte resistência ao impacto

● Deslize livre

A indústria de fabricação de semicondutores da VeTek normalmente processa esses wafers em transportadores horizontais ou verticais.

●  O suporte horizontal, normalmente chamado de "barco", tem três ou quatro barras dispostas horizontalmente dispostas em um desenho de semicírculo, com cada barra tendo ranhuras voltadas para dentro colocadas em intervalos regulares. Cada conjunto de ranhuras define um espaço vertical para transportar uma bolacha disposta verticalmente.

●  A transportadora vertical, normalmente chamado de "rack vertical", tem três ou quatro hastes (ou postes) dispostas verticalmente em um desenho de semicírculo, com cada poste tendo ranhuras colocadas em intervalos regulares para definir um espaço para suportar um wafer disposto horizontalmente.

Para garantir a precisão geométrica necessária neste campo, as três ou quatro hastes são fixadas em uma placa superior e uma placa inferior. As partes do poste entre cada slot, denominadas "dentes", são espaçadas de forma idêntica para apoiar as bolachas em intervalos regulares e paralelos à placa inferior. Todo o rack é então colocado dentro de um forno vertical para processar as bolachas.

Como um wafer processado em um rack vertical experimenta menos gradiente de temperatura em sua face (em comparação com um wafer processado em um barco horizontal), os fabricantes de semicondutores estão cada vez mais recorrendo a fornos verticais. Existe, no entanto, uma desvantagem no forno vertical. As bolachas dispostas numa cremalheira vertical convencional são suportadas apenas na sua borda externa. Como tal, as áreas da bolacha apoiadas nestes dentes sofrem maior tensão do que o resto da bolacha.

Quando as temperaturas no forno excedem cerca de 1000°C, estas tensões tornam-se frequentemente significativas e porções da pastilha de cristal único movem-se umas em relação às outras ao longo das placas cristalográficas em resposta a essa tensão. Este fenômeno, denominado "escorregamento", destrói efetivamente o valor dos dispositivos semicondutores localizados na área do wafer onde ocorreu o deslizamento.

Como fornecedora e fabricante de barcos de cerâmica de carboneto de silício na China, o Vetek Semiconductor sempre se comprometeu a fornecer soluções avançadas de tecnologia e produto para barcos a wafer para a indústria de processamento de semicondutores. Sinceramente, esperamos nos tornar seu parceiro de longo prazo na China.

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