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Placa transportadora de gravura PSS para semicondutor
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Placa transportadora de gravura PSS para semicondutor

A placa transportadora de gravação PSS do Vetek Semiconductor para semicondutores é uma transportadora de grafite ultra-pura de alta qualidade projetada para processos de manuseio de wafer. Nossas operadoras têm excelente desempenho e podem ter um bom desempenho em ambientes agressivos, altas temperaturas e condições de limpeza química severas. Nossos produtos são amplamente utilizados em muitos mercados europeus e americanos, e estamos ansiosos para nos tornar seu parceiro de longo prazo na China. Você pode vir à China para visitar nossa fábrica e aprender mais sobre nossa tecnologia e produtos.
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Descrição do produto

Como fabricante profissional líder no campo, o Vetek Semiconductor está encantado em oferecer placas de transportadoras PSS de primeira linha, adaptadas especificamente para a indústria de semicondutores.


Nossas placas transportadoras de gravação de PSS para semicondutores são componentes altamente especializados que são indispensáveis ​​na espectroscopia de fonte de plasma (PSS) Procedimentos de gravura no domínio de fabricação de semicondutores. Essas placas assumem um papel fundamental durante o processo de gravação. Eles fornecem suporte estável e garantem o transporte suave das bolachas semicondutoras, o que é crucial para a precisão e a qualidade da operação de gravação.


Convidamos calorosamente você a nos alcançarmos para qualquer pergunta. Estamos sempre prontos para ajudar e fornecer informações mais detalhadas sobre nossos produtos excelentes.




Placa transportadora de gravura PSS para semicondutorPrincipais recursos:

● Design de precisão: A placa transportadora é projetada com dimensões precisas e planicidade da superfície para garantir uma gravação uniforme e consistente nas bolachas semicondutores. Ele fornece uma plataforma estável e controlada para as bolachas, permitindo resultados precisos e confiáveis ​​de gravação.

● Resistência de plasma: A placa transportadora exibe excelente resistência ao plasma usado no processo de gravação. Ele permanece não afetado pelos gases reativos e plasma de alta energia, garantindo vida prolongada e desempenho consistente.

● Condutividade térmica: A placa transportadora apresenta alta condutividade térmica para dissipar eficientemente o calor gerado durante o processo de gravação. Isso ajuda a manter o controle ideal da temperatura e impede o superaquecimento das bolachas semicondutoras.

● Compatibilidade: A placa transportadora de gravura PSS foi projetada para ser compatível com vários tamanhos de bolacha semicondutores comumente usados ​​no setor, garantindo versatilidade e facilidade de uso em diferentes processos de fabricação.


Parâmetro do produto da placa transportadora de gravação do PSS para semicondutor

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade Valor típico
Estrutura cristalina Policristalina da fase β da FCC, principalmente (111) orientada
Densidade do revestimento SiC 3,21 g/cm³
Dureza do revestimento sic cvd sic 2500 VICKERS DUÊNDA （500G CARRE
Tamanho de grão 2 ~ 10 μm
Pureza química 99,99995%
Capacidade de calor 640 J · kg-1· K-1
Temperatura da sublimação 2700 ℃
Força de flexão 415 MPA RT 4 pontos
Módulo de Young 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Condutividade térmica 300W · m-1· K-1
Expansão térmica (CTE) 4,5 × 10-6K-1



É semicondutor Placa transportadora de gravura PSS para semicondutorLoja de produção

SiC Graphite substrateCVD TaC coating cover testSilicon carbide ceramic processingEPI process equipment



Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores:

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