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Transportador de gravura do ICP revestido com SIC
  • Transportador de gravura do ICP revestido com SICTransportador de gravura do ICP revestido com SIC

Transportador de gravura do ICP revestido com SIC

O portador de gravura ICP revestido com veteksemicon SiC foi projetado para as aplicações de equipamentos de epitaxia mais exigentes. Feito de material de grafite ultra-pura de alta qualidade, nosso portador de gravura com ICP revestido com SiC possui uma superfície altamente plana e uma excelente resistência à corrosão para suportar as condições adversas durante o manuseio. A alta condutividade térmica do transportador revestido com SiC garante a distribuição de calor uniforme para obter excelentes resultados de gravação.

Com anos de experiência em produção de transportadora de gravura com revestimento de SiC, o vetek semicondutor pode fornecer uma ampla gama deSiC revestidoouTAC revestidopeças de reposição para a indústria de semicondutores. Além da lista de produtos abaixo, você também pode personalizar suas próprias peças revestidas com SIC ou TAC exclusivas de acordo com suas necessidades específicas.


O portador de gravura ICP revestido com SiC semicondutor da VETEK, também conhecido como transportadoras de ICP, portadores de PSS, portadores de RTP ou portadores de RTP, são componentes importantes usados ​​em uma variedade de aplicações na indústria de semicondutores. A grafite revestida de carboneto de silício é o material primário usado para fabricar esses portadores atuais. Possui alta condutividade térmica, mais de 10 vezes a condutividade térmica do substrato de safira. Essa propriedade, combinada com sua força de campo elétrico de alto rolo e densidade máxima de corrente, levou a exploração do carboneto de silício como um substituto potencial para o silício em uma variedade de aplicações, particularmente em componentes de alta potência semicondutores. As placas transportadoras de corrente SiC têm alta condutividade térmica, tornando -as ideais paraProcessos de fabricação LED. 


Eles garantem dissipação de calor eficiente e fornecem excelente condutividade elétrica, contribuindo para a produção de LEDs de alta potência. Além disso, essas placas de transportadora têm excelenteResistência ao plasmae vida útil longa, garantindo desempenho e vida confiáveis ​​no exigente ambiente de fabricação de semicondutores.


A veteksemicon estabeleceu relações cooperativas de longo prazo com muitos fabricantes de semicondutores. Também esperamos criar uma parceria de longo prazo com você.


Parâmetro do produto do portador de gravura do ICP revestido com SiC:

Propriedades físicas básicas deCvd SiC Coating
Propriedade Valor típico
Estrutura cristalina Policristalina da fase β da FCC, principalmente (111) orientada
Densidade 3,21 g/cm³
Dureza 2500 VICKERS DUÊNDA (500G CARRE
Tamanho de grão 2 ~ 10mm
Pureza química 99,99995%
Capacidade de calor 640 J · kg-1· K-1
Temperatura da sublimação 2700 ℃
Força de flexão 415 MPA RT 4 pontos
Módulo de Young 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Condutividade térmica 300W · m-1· K-1
Expansão térmica (CTE) 4.5×10-6K-1


É semicondutorTransportador de gravura do ICP revestido com SICLoja de produção

VeTek Semiconductor SiC Coated ICP Etching Carrier Production Shop


Visão geral da cadeia da indústria de epitaxia de chips semicondutores:

Overview of the semiconductor chip epitaxy industry chain


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