Cerâmica de Carboneto de Silício

VeTek Semiconductor é seu parceiro inovador na área de processamento de semicondutores. Com nosso extenso portfólio de combinações de materiais de cerâmica de carboneto de silício de grau semicondutor, recursos de fabricação de componentes e serviços de engenharia de aplicação, podemos ajudá-lo a superar desafios significativos. As cerâmicas técnicas de engenharia de carboneto de silício são amplamente aplicadas na indústria de semicondutores devido ao seu excepcional desempenho de material. A cerâmica de carboneto de silício ultrapura da VeTek Semiconductor é frequentemente usada em todo o ciclo de fabricação e processamento de semicondutores.

DIFUSÃO E PROCESSAMENTO DE LPCVD

A VeTek Semiconductor fornece componentes cerâmicos projetados especificamente para difusão em lote e requisitos de LPCVD, incluindo:

• Defletores e suportes
• Injetores
• Revestimentos e tubos de processo
• Pás cantilever de carboneto de silício
• Barcos wafer e pedestais

Remo Cantilever SiC Tubos de Processo SiC Tubo de processo de carboneto de silício Barco wafer vertical SiC Barco de wafer horizontal SiC Barco de wafer quare horizontal SiC Barco wafer SiC LPCVD Barco de placa horizontal SiC Anel de vedação de cerâmica SiC

COMPONENTES DO PROCESSO DE ETCH

Minimize a contaminação e a manutenção não programada com componentes de alta pureza projetados para os rigores do processamento de gravação a plasma, incluindo:

PROCESSAMENTO TÉRMICO RÁPIDO E COMPONENTES DO PROCESSO EPITAXIAL

A VeTek Semiconductor fornece componentes de materiais avançados adaptados para aplicações de processamento térmico de alta temperatura na indústria de semicondutores. Essas aplicações abrangem RTP, processos Epi, difusão, oxidação e recozimento. Nossas cerâmicas técnicas são projetadas para resistir a choques térmicos, proporcionando desempenho confiável e consistente. Com os componentes da VeTek Semiconductor, os fabricantes de semicondutores podem obter processamento térmico eficiente e de alta qualidade, contribuindo para o sucesso geral da produção de semicondutores.