Transportadora horizontal de wafer

VeTek SemicondutoresTransportador horizontal de wafer SiC/O barco tem um ponto de fusão extremamente alto (cerca de 2700°C), o que permite aTransportador horizontal de wafer SiC/Barco para trabalhar de forma estável em ambientes de alta temperatura sem deformação ou degradação. Esta característica é particularmente importante no processo de fabricação de semicondutores, especialmente em processos como recozimento em alta temperatura ou deposição química de vapor (CVD).

OTransportadora horizontal de wafer/O barco desempenha especificamente as seguintes funções no processo de transportar portadores de wafer:

Wafer de silício Carreira e apoio: O barco horizontal de wafer SiC é usado principalmente para transportar e suportar wafers de silício durante a fabricação de semicondutores. Ele pode organizar firmemente vários wafers de silício para garantir que permaneçam em boa posição e estabilidade durante todo o processo de processamento.

Aquecimento e resfriamento uniformes: Devido à alta condutividade térmica do SiC, o Wafer Boat pode distribuir o calor de maneira eficaz e uniforme para todos os wafers de silício. Isso ajuda a obter aquecimento ou resfriamento uniforme de wafers de silício durante o processamento em alta temperatura, garantindo consistência e confiabilidade do processo de processamento.

Impedir a contaminação: A estabilidade química do SiC permite ter um bom desempenho em ambientes gasosos de alta temperatura e corrosivo, reduzindo assim a exposição de bolachas de silício a possíveis contaminantes ou reagentes, garantindo a pureza e a qualidade das bolachas de silício.

De fato, o barco horizontal da wafer da SIC pode desempenhar o papel acima devido às suas características únicas do produto:

Excelente estabilidade química: O material SiC tem excelente resistência à corrosão em uma variedade de meios químicos. No processo de processamento de gases ou líquidos corrosivos, o SiC Wafer Boat pode resistir efetivamente à corrosão química e proteger os wafers de silício contra contaminação ou danos.

Alta condutividade térmica: A alta condutividade térmica da SIC ajuda a distribuir uniformemente o calor no processo da transportadora e reduzir o acúmulo de calor. Isso pode melhorar a precisão do controle da temperatura durante o processamento de precisão e garantir aquecimento ou resfriamento uniforme das bolachas de silício.

Baixo coeficiente de expansão térmica: O baixo coeficiente de expansão térmica do material SiC significa que a mudança dimensional do SiC Wafer Boat é muito pequena durante as mudanças de temperatura. Isso ajuda a manter a estabilidade dimensional durante o processamento em alta temperatura e evita a deformação ou deslocamento posicional dos wafers de silício causados ​​pela expansão térmica.

Propriedades físicas básicas do portador horizontal de bolacha da SIC:

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