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Top de colecionador de revestimento SiC
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Top de colecionador de revestimento SiC

Bem -vindo ao VETEK Semiconductor, seu fabricante confiável da CVD SIC Coatings. Orgulhamo-nos de oferecer o tampo do coletor de revestimento Aixtron SiC, que é projetado habilmente usando grafite de alta pureza e apresentamos um revestimento CVD SiC de última geração com impureza abaixo de 5ppm. Por favor, não hesite em nos alcançar com qualquer dúvida ou pergunta

Com anos de experiência em produçãoRevestimento TACeRevestimento sic, O vetek semicondutor pode fornecer uma ampla gama de top de coletor de revestimento SiC,Centro de Coletores, fundo do coletorpara o sistema Aixtron. O Top de coletor de revestimento SiC de alta qualidade pode atender a muitos aplicativos, se necessário, obtenha nosso serviço on -line em tempo hábil sobre o topo do coletor de revestimento SIC. Além da lista de produtos abaixo, você também pode personalizar seu próprio coletor de revestimento SIC exclusivo, de acordo com suas necessidades específicas.


O Top SiC de coletor de revestimento, o centro de coletores de revestimento SiC e o fundo do coletor de revestimento SiC são os três componentes básicos usados ​​no processo de fabricação de semicondutores. Vamos discutir cada produto separadamente:


O coletor de revestimento semicondutores de vetek, o Top Collector, desempenha um papel crucial no processo de deposição de semicondutores. Ele atua como uma estrutura de suporte para o material depositado, ajudando a manter a uniformidade e a estabilidade durante a deposição. Também ajuda no gerenciamento térmico, dissipando efetivamente o calor gerado durante o processo. O topo do colecionador garante o arranjo e a distribuição corretos do material depositado, resultando em crescimento do filme de alta qualidade e consistente.


O revestimento SiC no topo do coletor, centro de coletor e fundo coletor melhora significativamente seu desempenho e durabilidade.Revestimento de sic (carboneto de silício)é conhecido por sua excelente condutividade térmica, inércia química e resistência à corrosão. O revestimento SiC no topo, centro e inferior do coletor oferece excelentes recursos de gerenciamento térmico, garantindo a dissipação de calor eficiente e mantendo as temperaturas ideais do processo. Ele também possui excelente resistência química, protegendo os componentes de ambientes corrosivos e prolongando sua vida útil. As propriedades dos revestimentos do SiC ajudam a melhorar a estabilidade dos processos de fabricação de semicondutores, reduzir defeitos e melhorar a qualidade do filme.


Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC:

Propriedades físicas básicas do revestimento CVD SiC
Propriedade Valor típico
Estrutura cristalina Policristalina da fase β da FCC, principalmente (111) orientada
Densidade de revestimento CVD SiC 3,21 g/cm³
Dureza do revestimento sic 2500 VICKERS DUÊNDA (500G CARRE
Tamanho de grão 2 ~ 10mm
Pureza química 99,99995%
Capacidade de calor 640 J · kg-1· K-1
Temperatura da sublimação 2700 ℃
Força de flexão 415 MPA RT 4 pontos
Módulo de Young 430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Condutividade térmica 300W · m-1· K-1
Expansão térmica (CTE) 4,5 × 10-6K-1


Dados SEM do filme CVD SIC

SEM DATA OF CVD SIC FILM

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